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설치 보고서
10-12-2026

현대자동차 Keyence VHX-X1 디지털 현미경 DVIA-TD45(260722R4) 설치 보고서

DVIA-T Series
Installation Report
Hyundai Motor Company
Keyence
VHX-X1
Digital Microscope
DVIA-TD45
260722R4

개요

현대자동차 남양연구소 C3-4 연구실에 설치된 DVIA-TD45 제진대 상부의 디지털 현미경(키엔스 VHX-X1) 사용 중, 배율 렌즈를 변경할 때 장비가 움직이면서 제진대가 발진하는 현상이 접수되었습니다. 고객사 확인 결과, 현장 바닥 진동이 Active Off 상태에서도 장비 사용에 큰 문제가 없는 수준이었습니다. 그래서 제진 성능을 최대로 끌어올리기보다는 상부 장비가 움직이거나 하중이 바뀌어도 안정적으로 동작하도록 안정성 위주로 재튜닝을 진행하였습니다. 튜닝 후 IDLE 상태에서 점검과 진동 측정을 진행하였고, 측정 Data를 VC Curve로 표기하여 진동 수준에 대한 Reference 자료와 함께 제공합니다.

제진대 정보

모델: DVIA-TD45

시리얼 넘버: 260722R4

엔지니어

박규민, 문창현 · 대일시스템

튜닝 날짜

2026.10.12

설치 장소

현대자동차 남양연구소 C3-4동 연구소

End User

고객사: 현대자동차

고객사 장비

제조사: 키엔스

장비명: DIGITAL MICROSCOPE

모델: VHX-X1

진동 스펙

-

장비 상태

IDLE

진동 측정 장비

Measurement Equipment

하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040

소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version

Accelerometer

PCB 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 2400

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

결론

① 발진 개선 확인

재튜닝 후 렌즈 교체와 배율 변경 시 상부 장비를 움직여도 발진이 재현되지 않았습니다.

② 진동 측정 결과 (IDLE 상태, VC Curve 기준)

Vertical (Z): 바닥 VC-A → 제진대 상부 VC-E (4등급 개선)

Front to Back (Y): 바닥 VC-B → 제진대 상부 VC-E (3등급 개선)

Left to Right (X): 바닥 VC-A → 제진대 상부 VC-C (2등급 개선)

측정 데이터 요약

측정 위치진동 스펙측정 축측정 결과
바닥DVIA-TD45
1. 바닥
2. DVIA-TD45
Section 8 참조Vertical (Z-axis)✓ PASS✓ PASS
Left to Right (X-axis)✓ PASS✓ PASS
Front to Back (Y-axis)✓ PASS✓ PASS

측정 데이터

Vertical (Z-axis)

Z-axis — Autospectrum

Z-axis — VC Curves

Left to Right (X-axis)

X-axis — Autospectrum

X-axis — VC Curves

Front to Back (Y-axis)

Y-axis — Autospectrum

Y-axis — VC Curves

설치 사진

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.

기준 곡선설명진폭¹
μm/s (μin/s)
세부 크기²
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 인지되는 진동. 작업장 및 비민감 영역에 적합합니다.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 영역에 적합합니다.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 영역에 적합합니다. 일반적으로 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비 및 40배 미만 현미경에 적합합니다.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수술실, 100배 현미경 및 기타 저감도 장비에 적합합니다.100 (4,000)25
VC-A대부분의 경우 400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울, 근접 및 투영 정렬기 등에 적합합니다.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비(스테퍼 포함)에 적합합니다.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 세부 크기까지의 리소그래피 및 검사 장비(중간 감도 전자 현미경 포함)에 적합한 표준입니다. TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정.12.5 (500)1-3
VC-D대부분의 경우 많은 전자 현미경(SEM 및 TEM) 및 E-Beam 시스템을 포함한 까다로운 장비에 적합합니다.6.25 (250)0.1-0.3
VC-E달성하기 어려운 기준입니다. 나노미터 스케일에서 작동하는 장거리, 레이저 기반, 소형 타겟 시스템, E-Beam 리소그래피 시스템 및 특별한 동적 안정성이 필요한 기타 시스템을 포함한 가장 까다로운 민감 시스템에 적합한 것으로 가정합니다.3.12 (125)<0.1
VC-F매우 조용한 연구 공간에 적합합니다. 대부분의 경우, 특히 클린룸에서 달성하기 어렵습니다. 설계 기준으로 사용하지 않고 평가용으로만 권장됩니다.1.56 (62.5)N/A
VC-G매우 조용한 연구 공간에 적합합니다. 대부분의 경우, 특히 클린룸에서 달성하기 어렵습니다. 설계 기준으로 사용하지 않고 평가용으로만 권장됩니다.0.78 (31.3)N/A

¹ 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.

² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.

이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일10-12-2026
태그
DVIA-T Series
Installation Report
Hyundai Motor Company
Keyence
VHX-X1
Digital Microscope
DVIA-TD45
260722R4