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설치 보고서
DVIA-ULF Series
03-10-2026

Tier-1 Semiconductor Icheon P&T PKG Analysis Lab DVIA-ULFB700 Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor

개요

진동 절연 시스템 정보

모델: DVIA-ULFB700

시리얼 넘버: 260211R2

엔지니어

대일시스템 이채원

튜닝 날짜

N/A

설치 장소

N/A

End User

Tier-1 Semiconductor

고객사 장비

N/A

장비 스펙

N/A

장비상태

Turned off

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

결론

Vertical: 100 Hz에서 VC-B의 진동이 VC-D까지 감쇠 됩니다.

Left to Right: 50 Hz에서 VC-B의 진동이 VC-E까지 감쇠 됩니다.

Front to Back: 31.5 Hz에서 Operating Theatre의 진동이 VC-E까지 감쇠 됩니다.

모든 방향에서 효과적인 제진 성능을 보이고 있음을 확인하였습니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향바닥진동DVIA-ULFB700
Tier-1 Semiconductor 이천사업장 P&T 4 PKG 분석실
1. 바닥진동
2. DVIA-ULFB700
Turned offVerticalVC-B @ 100 HzVC-D @ 100 Hz
Left to RightVC-B @ 50 HzVC-E @ 50 Hz
Front to BackOperating Theatre @ 31.5 HzVC-E @ 31.5 Hz

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
상세 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일03-10-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor