Tier-1 Semiconductor 2F Clean Booth DVIA-ULF700 (250708R1-1) Installation Report
목차
개요
Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스에 설치된 DVIA-ULF700 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
제진대 상부에 장비와 연결된 로터리 펌프가 작동중이었습니다. 이는 튜닝 및 진동측정에 영향을 줄 수 있습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF700
시리얼 넘버: 250708R1-1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 11월 04일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
Manufacturer: Tier-1 Semiconductor
Equipment: -
Model: Self-made
장비 스펙
-
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
로터리 펌프가 영향을 주는 특정 Hz 제외, VC-F - VC-G의 진동이 측정됩니다.
측정 데이터
Obtained via Data Physics DAQ
| 측정 장소 | 측정 지점 | 상태 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-ULF700 |
|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스 | 1. 바닥진동 2. DVIA-ULF700 | Turned on/IDLE | Vertical | Residential Area @ 50 Hz | VC-F @ 50 Hz |
| Left to Right | VC-C @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz | |||
| Front to Back | VC-B @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz |
Obtained via UI Program
| 측정 장소 | 측정 지점 | 상태 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-ULF700 |
|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스 | 1. 바닥진동 2. DVIA-ULF700 | Turned on/IDLE | Vertical | VC-C @ 31.5 Hz | VC-E @ 31.5 Hz |
| Left to Right | VC-E @ 2 Hz | VC-G @ 2 Hz | |||
| Front to Back | VC-C @ 2 Hz | VC-F @ 2 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves (Obtained via Data Physics DAQ)
Vertical VC Curves (Obtained via UI Program)
Vertical Autospectrum (Obtained via Data Physics DAQ)
Vertical Autospectrum (Obtained via UI Program)
Vertical Transmissibility (Obtained via Data Physics DAQ)
Vertical Transmissibility (Obtained via UI Program)
Left to Right VC Curves (Obtained via Data Physics DAQ)
Left to Right VC Curves (Obtained via UI Program)
Left to Right Autospectrum (Obtained via Data Physics DAQ)
Left to Right Autospectrum (Obtained via UI Program)
Left to Right Transmissibility (Obtained via Data Physics DAQ)
Left to Right Transmissibility (Obtained via UI Program)
Front to Back VC Curves (Obtained via Data Physics DAQ)
Front to Back VC Curves (Obtained via UI Program)
Front to Back Autospecturm (Obtained via Data Physics DAQ)
Front to Back Autospecturm (Obtained via UI Program)
Front to Back Transmissibility (Obtained via Data Physics DAQ)
Front to Back Transmissibility (Obtained via UI Program)
Reference
일반 진동 기준
참고:
- 1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
관련 케이스 스터디
Tier-1 Semiconductor 2F Clean Booth DVIA-ULF700 (250708R1-1) Installation Report
Tier-1 Semiconductor 2F Clean Booth Self-made Equipment DVIA-ULF700 (250708R1-1) Installation Report
