Tier-1 Semiconductor 2F Clean Booth DVIA-ULF700 (250708R1-1) Installation Report
목차
개요
Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스에 설치된 DVIA-ULF700 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
제진대 상부에 장비와 연결된 로터리 펌프가 작동중이었습니다. 이는 튜닝 및 진동측정에 영향을 줄 수 있습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF700
시리얼 넘버: 250708R1-1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 11월 04일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스
최종 사용자
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
Manufacturer: Tier-1 Semiconductor
Equipment: N/A
Model: Self-made
장비 스펙
N/A
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
로터리 펌프가 영향을 주는 특정 Hz 제외, VC-F - VC-G의 진동이 측정됩니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-ULF700 |
|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor 2F 클린부스 1. 바닥진동 2. DVIA-ULF700 | Turned on/IDLE | Vertical | Residential Area @ 50 Hz | VC-F @ 50 Hz |
| Left to Right | VC-C @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz | ||
| Front to Back | VC-B @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
15. 참고자료
일반 진동 기준
참고:
- 1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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