Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility DSR C Tower 3F Research Lab ZEISS GeminiSEM 460 DVIA-ULF1000 Installation Report
목차
개요
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility DSR C타워 3층 연구실에 설치된 DVIA-ULF1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF1000
시리얼 넘버: 251112R4
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2026년 01월 08일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility DSR C타워 3층 연구실
최종 사용자
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: GeminiSEM 460
장비 스펙
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 지점 | 상태 | 방향 | 바닥 진동 | DVIA-ULF1000 | 바닥 진동 | DVIA-ULF1000 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility DSR C타워 3층 연구실 1. 바닥 진동 2. DVIA-ULF1000 | Turned on/IDLE | 수직 | VC-B @ 10 Hz | VC-G @ 10 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-D @ 8 Hz | VC-F @ 8 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후 | VC-E @ 16 Hz | VC-F @ 16 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
수직 VC 곡선
수직 자동 스펙트럼
수직 전달률
좌우 VC 곡선
좌우 자동 스펙트럼
좌우 전달률
전후 VC 곡선
전후 자동 스펙트럼
전후 전달률
참고 자료
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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