Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility DSR C Tower 3F Research Lab ZEISS VersaXRM 730 DVIA-ULF1500 Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility DSR C타워 3층 연구실에 설치된 DVIA-ULF1500 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF1500
시리얼 넘버: 250815R2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 12월 31일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility DSR C타워 3층 연구실
End User
Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: VersaXRM 730
장비 스펙
VC-C
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 진동 스펙 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-ULF1500 | 바닥진동 | DVIA-ULF1500 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility DSR C타워 3층 연구실 1. 바닥진동 2. DVIA-ULF1500 | Turned on/IDLE | VC-C | 수직 | VC-B @ 10 Hz | VC-D @ 10 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-E @ 8 Hz | VC-G @ 8 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| 전후 | VC-D @ 8 Hz | VC-F @ 8 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터&이미지
수직 VC 곡선
수직 자동 스펙트럼
수직 전달률
좌우 VC 곡선
좌우 자동 스펙트럼
좌우 전달률
전후 VC 곡선
전후 자동 스펙트럼
전후 전달률
15. 참고자료
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.
2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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