설치 보고서
DVIA-ULF Series
05-26-2026
Ulsan Technopark ZEISS SEM EVO10 DVIA-UB700 (220811R2) Installation Report
DVIA-ULF Series
Installation Report
TechnoPark
Ulsan
ZEISS
SEM EVO10
DVIA-UB700
220811R2
목차
작성 대상
TechnoPark(Ulsan)
작성자
Engineer: Seounghoon Cheon
Tuning date: 22.11.01
Report written date: 22.11.03
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
개요
The DVIA-UB700 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
시스템 정보
Model: DVIA-UB700(910x1140x143H)
Serial Number: 220811R2
엔지니어
Seounghoon Cheon, from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
November 01, 2022
위치
Technopark, Ulsan
장비
SEM-EVO10
측정 장비
7.1) Data Physics
Hardware: Quattro, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
7.2) Measurement Setting
-Bandwidth: 0 – 80 Hz
-Lines: 800
-Window: Hanning
-Averaging: FFT Spectrum Averaging
-Engineering Units: m/s^2
7.3) Sensor
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 결과 요약
| 측정 포인트 | Z축 (수직) / 1-10 Hz | Z축 (수직) / 12.5-80 Hz | X축 (좌→우) / 1-10 Hz | X축 (좌→우) / 12.5-80 Hz | Y축 (앞→뒤) / 1-10 Hz | Y축 (앞→뒤) / 10-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | G | E | G | F | E | E |
| Active | G | E | G | E | F | F |
데이터 및 이미지 (장비 Turn off)
바닥 Z축 (수직) VC curves
상부 Z축 (수직) VC curves
Z축 (수직) 전달률
바닥 X축 (좌 → 우) VC curves
상부 X축 (좌 → 우) VC curves
X축 (좌 → 우) 전달률
바닥 Y축 (앞 → 뒤) VC curves
상부 Y축 (앞 → 뒤) VC curves
Y축 (앞 → 뒤) 전달률
참조
일반 진동 기준
*참고:*
- 8-80 Hz(VC-A/B) 또는 1-80 Hz(VC-C~VC-G)에서 1/3 옥타브 대역으로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일05-26-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
TechnoPark
Ulsan
ZEISS
SEM EVO10
DVIA-UB700
220811R2
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