Hanyang University ZEISS Sigma 300 DVIA-UB700 Installation Report
목차
Prepared for
Hanyang University(Seoul)
Prepared by
Engineer: Seounghoon Cheon
Tuning date: 22.12.15
Report written date: 22.12.19
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
개요
The DVIA-UB700 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
시스템 정보
Model: DVIA-UB700(910x1140x139H)
Serial Number: 221024R4
엔지니어
Seounghoon Cheon, from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
December 15, 2022
설치 위치
Hanyang university, Seoul
장비
ZEISS SEM Sigma 300
측정 장비
7.1) Data Physics
Hardware: Quattro, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
7.2) Measurement Setting
-Bandwidth: 0 – 80 Hz
-Lines: 800
-Window: Hanning
-Averaging: FFT Spectrum Averaging
-Engineering Units: m/s^2
7.3) Sensor
PCB Accelerometer
Model: 393B05
측정 결과 요약
| Measurement Point | Z-axis (Vertical)<br>1–10 Hz | Z-axis (Vertical)<br>12.5–80 Hz | X-axis (Left to Right)<br>1–10 Hz | X-axis (Left to Right)<br>12.5–80 Hz | Y-axis (Front to Back)<br>1–10 Hz | Y-axis (Front to Back)<br>10–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | F | B | F | E | G | E |
| Active | G | E | G | G | G | G |
데이터 및 이미지 (장비 전원 꺼짐)
Floor Z-axis (Vertical) VC curves
Top Z-axis (Vertical) VC curves
Z-axis (Vertical) Transmissibility
Floor X-axis (Left to Right) VC curves
Top X-axis (Left to Right) VC curves
X-axis (Left to Right) Transmissibility
Floor Y-axis (Front to Back) VC curves
Top Y-axis (Front to Back) VC curves
Y-axis (Front to Back) Transmissibility
참고자료
참고:
1. VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~VC-G는 1–80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정합니다.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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Ulsan Technopark ZEISS SEM EVO10 DVIA-UB700 (220811R2) Installation Report
