Hanyang University ZEISS Sigma 300 DVIA-UB700 Inspection Report
목차
작성자
엔지니어: 이채원
점검 날짜: 26.01.05
보고서 작성일: 26.01.07
개요
한양대학교 자연과학관(507동) 112호에 설치된 DVIA-UB700 점검 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 점검 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-UB700
시리얼 넘버: 221024R5
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
점검 날짜
2026년 01월 05일
설치 장소
한양대학교 자연과학관 112호
End User
한양대학교
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: Sigma 300
장비 스펙
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
최초 점검 시 Active 모드에서 발진 현상이 발생하였습니다. Left to Right 및 Front to Back 축에 LPF를 추가 적용하여 발진을 제거하였습니다.
최종 점검 결과, 제진대가 안정적으로 작동하고 있음을 확인하였으며, 모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 측정값 — Floor | 측정값 — DVIA-UB700 | 결과 — Floor | 결과 — DVIA-UB700 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 한양대학교 자연과학관 112호 1. Floor 2. DVIA-UB700 | Turned on/IDLE | Vertical | VC-C @ 31.5 Hz | VC-G @ 31.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-F @ 50 Hz | VC-G @ 50 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-E @ 20 Hz | VC-F @ 20 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
설치 사진
참고자료
*참고:*
- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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