QRT DVIA-ML3000 (251111R3) Installation Report — 2026.03.04
Contents
고객사
QRT
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
26.03.04
보고서 작성일
26.03.05
개요
한국나노기술원 1층 QRT 연구실에 설치된 DVIA-ML3000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
고객사 장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
제진대
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 251111R3
점검 날짜
2026년 03월 05일
설치 장소
한국나노기술원 1층 QRT 연구실
End User
QRT
고객사 장비
Manufacturer: Thermofisher Scientific
Equipment: Cryo-TEM
Model: Spectra 200
장비 스펙
장비 상태
장비 설치 및 Turned On/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Overlap: Max
결론
Thermo Fisher Scientific社의 Site Survey 보고서에 명시된 진동 스펙이 Front to Back 방향 0.5 - 1.6 Hz 범위에만 명시되어 있어, 본 보고서에서도 해당 구간의 스펙만을 표기하였습니다.
DVIA-ML3000 On 조건에서 모든 방향에 대해 장비 진동 Spec을 만족하고 있음을 최종 확인하였습니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 방향 | 진동 스펙 | 바닥진동(μg) | DVIA-ML3000(μg) | 바닥진동 | DVIA-ML3000 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 한국나노기술원 1F QRT 연구실 1. 바닥진동 2. DVIA-ML3000 | Vertical | 확인 불가 | 411 @ 31.5 Hz | 47.9 @ 31.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | 108 @ 31.5 Hz | 41 @ 31.5Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | 9번 항목 참조 | 49.5 @ 80 Hz | 1.52 @ 40 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
설치 사진
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C–G는 1–80 Hz에서 1/3 옥타브 밴드로 측정한 값을 기준으로 함.
- Detail size는 반도체 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미함.
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케이스 스터디 정보
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