설치 보고서

08-25-2026

CEPREI Thermo Fisher Scientific (S)TEM Talos F200X DVIA-ML3000(260424R5) 설치 보고서

DVIA-ML Series

Installation Report

CEPREI

Thermo Fisher Scientific

Talos F200X

TEM

DVIA-ML3000

260424R5

Guangzhou

China

개요

광주(广州)에 DVIA-ML3000을 설치한 후 튜닝과 진동 측정을 수행했습니다.

장비가 IDLE 상태인 상태에서 진동 측정을 진행했습니다.

데이터는 Autospectrum 형태로 표시되며, 진동 수준에 대한 참고 자료를 제공합니다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML3000

시리얼 넘버: 260424R5

담당 엔지니어

Younguk KIM · DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026.08.25

End User

CEPREI (电子五所)

튜닝 횟수

1st

설치 위치

광주(广州)

장비

제조사: Thermo Fisher Scientific

장비: (S)TEM

모델: Talos F200X

진동 사양

Horizontal

Frequency [Hz]	Allowable [VC-Curve]
1	1.5625 [VC-F]
100	1.5625 [VC-F]

Vertical

Frequency [Hz]	Allowable [VC-Curve]
1	3.125 [VC-E]
100	3.125 [VC-E]

장비 상태

IDLE

Tuning Request

이미지 1 · CEPREI Thermo Fisher Scientific (S)TEM Talos F200X DVIA-ML3000(260424R5) 설치 보고서

측정 요약

Measurement Point	VibrationSpecifications	Axis	Result
Measurement Point	VibrationSpecifications	Axis	Floor	DVIA-ML3000
1. Floor 2. DVIA-M-THT3	9절 참조	Vertical	✗ FAIL	✓ PASS
		Left to Right	✗ FAIL	✓ PASS
		Front to Back	✓ PASS	✓ PASS

UI 프로그램 측정 데이터

Vertical — Autospectrum

이미지 2 · CEPREI Thermo Fisher Scientific (S)TEM Talos F200X DVIA-ML3000(260424R5) 설치 보고서

Left to Right — Autospectrum

이미지 3 · CEPREI Thermo Fisher Scientific (S)TEM Talos F200X DVIA-ML3000(260424R5) 설치 보고서

Front to Back — Autospectrum

이미지 4 · CEPREI Thermo Fisher Scientific (S)TEM Talos F200X DVIA-ML3000(260424R5) 설치 보고서

설치 사진

장비

이미지 5 · CEPREI Thermo Fisher Scientific (S)TEM Talos F200X DVIA-ML3000(260424R5) 설치 보고서

Reference

아래 표는 IEST-RP-CC012.2를 기준으로 진동 수준을 분류한 것입니다.

기준 곡선	설명	진폭 µm/s (µin/s)	상세 크기 µm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 공간에 적합. 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비, 40배 미만 현미경에 일반적으로 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 수술실, 100배율 현미경 및 기타 저민감 장비에 대부분 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울, 프록시미티·프로젝션 얼라이너 등에 대부분 적절.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비(스테퍼 포함)에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 상세 크기의 리소그래피·검사 장비(중간 민감도 전자 현미경 포함)에 적합한 기준. TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정.	12.5 (500)	1-3
VC-D	다수의 전자 현미경(SEM·TEM) 및 E-Beam 시스템을 포함한 고정밀 장비에 대부분 적합.	6.25 (250)	0.1-0.3
VC-E	달성하기 어려운 기준. 장거리 광경로, 레이저 기반, 소형 타깃 시스템, 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 극도의 동적 안정성이 필요한 최고 민감 시스템에 적절한 것으로 간주.	3.12 (125)	<0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간에 적합. 특히 클린룸에서는 대부분 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간에 적합. 특히 클린룸에서는 대부분 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.	0.78 (31.3)	N/A

참고:

- VC-A·VC-B는 8-80 Hz, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서 측정한 값입니다.

- 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서는 선폭을, 의료·제약 연구에서는 입자(세포) 크기를 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에는 해당하지 않습니다.

이 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비와 공정의 응용 및 진동 요구사항에 대해 잘 아는 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.

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