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설치 보고서
DVIA-ML Series
03-06-2026

Gränges Aluminum Thermo Fisher Spectra 200 Cryo-STEM DVIA-ML3000 (250211R4-1) Installation Report

DVIA-ML Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
Cryo-STEM
Spectra 200
Gränges Aluminum
DVIA-ML3000
250211R4-1

목차

Prepared by

Engineer: Chaewon Lee

Tuning date: 26.03.06

Report written date: 26.03.24

개요

The DVIA-ML3000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-ML3000

Serial Number: 250211R4-1

담당 엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

March 06, 2026

End User

Gränges Aluminum

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Shanghai, China

장비

Manufacturer: Thermo Fisher Scientific

Equipment: Cryo-STEM

Model: Spectra 200

진동 사양

VerticalHorizontal
1 – 10 HzVC-FVC-F
Above 10 HzVC-EVC-F

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

N/A

측정 요약

Measurement PointStatusAxisVibration SpecificationFloorDVIA-ML3000FloorDVIA-ML3000
1.Floor
2.DVIA-ML3000		Equipment is Turned on/IDLEVerticalUp to 10 Hz: VC-F
Above 10 Hz: VC-E		VC-D @ 2.5 HzVC-G @ 2.5 Hz✗ FAIL✓ PASS
Left to RightVC-FVC-D @ 1.6 HzVC-F @ 1.6 Hz✗ FAIL✓ PASS
Front to BackVC-C @ 1.6 HzVC-G @ 1.6 Hz✗ FAIL✓ PASS

UI 프로그램 측정 데이터

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ML Series
작성일03-06-2026
태그
DVIA-ML Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
Cryo-STEM
Spectra 200
Gränges Aluminum
DVIA-ML3000
250211R4-1

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