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설치 보고서
DVIA-M Series
04-02-2026

Thermo Fisher Scientific Apreo 2S SEM DVIA-ML1000 (251023R5) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
Apreo 2S
DVIA-ML1000

개요

Thermo Fisher Scientific Apreo 2S SEM과 DVIA-ML1000; 장비 Turned on / IDLE 상태에서 UI 프로그램 측정.

진동 사양은 다이어그램으로 제시; 측정 요약은 축별로 바닥과 DVIA-ML1000 측정치를 대비.

ISO·VC 기준 일반 진동은 말미 Reference에 수록.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 251023R5

담당 엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

튜닝 일자

2026년 4월 2일

보고서 작성일

2026년 4월 7일

End User

N/A

튜닝 횟수

1st

설치 위치

N/A

장비

제조사: Thermo Fisher Scientific

장비: SEM

모델: Apreo 2S

장비(허용) 진동 사양

현장 보고 Vibration specification은 제조사·허용 진동 다이어그램으로 제시됩니다. 측정 요약의 진동 사양(VC)·측정치는 이를 전제로 합니다.

허용 진동 다이어그램

장비 상태

Turned on / IDLE

(측정 시).

튜닝 요청(Tuning request)

N/A

결론

DVIA-ML1000 위(온-아이솔레이터)

측정은 요약표 기준 수직·좌우·전후 모두 PASS입니다. 같은 표에서 바닥 측은 FAIL로 표기되어 있으며, 바닥 vs 제진대는 표를 기준으로 해석합니다.

측정 요약

측정 지점상태축진동 사양측정 데이터결과
바닥DVIA-ML1000바닥DVIA-ML1000
1. 바닥진동
2. DVIA-ML1000		Turned on / IDLE수직VC-GVC-C
@ 25 Hz		VC-G
@ 25 Hz		✗ FAIL✓ PASS
좌우VC-DVC-D
@ 8 Hz		{blue}VC-G{/red}
@ 8 Hz		✗ FAIL
전후VC-EVC-E
@ 3.15 Hz		{blue}VC-G{/red}
@ 3.15 Hz		✗ FAIL

데이터 및 이미지

수직

VC·Autospectrum·전달률, 좌우, 전후 다음 장비 사진 순. Autospectrum 파일명에 narrow-band 포함(저장소).

수직 VC Curves

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC Curves

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC Curves

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일04-02-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
Apreo 2S
DVIA-ML1000

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