Tier-1 Semiconductor Giheung Hitachi In-Line SEM XF-1000 DVIA-P10000 Installation Report
목차
개요
삼성전자 기흥 NRD K라인 4층에 설치된 DVIA-P10000 점검을 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 점검 및 진동 측정을 진행하였습니다.
제진대 작동 시 Vertical, Left to Right, Front to Back 모든 방향에서 DVIA-P10000의 진동 레벨이 SPEC 라인 아래에 위치하여 고객사 진동 스펙을 만족합니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-P10000
시리얼 넘버: 251020R2
엔지니어
정성윤 연구원, 대일시스템
박동규 연구원, 대일시스템
튜닝 날짜
2026년 6월 23일
설치 장소
삼성전자 기흥 NRD K라인 4층
End User
삼성전자
고객사 장비
제조사: HITACHI High Tech
장비명: In-Line SEM
모델: XF-1000
진동 스펙
| 방향 | 주파수 [Hz] | 한도 [µm/s p-p] |
|---|---|---|
| 수평 | 1 - 20 | 1.0 이하 |
| 수직 | 1 - 3 | 1.0 이하 |
| 3 - 15 | 0.4 이하 | |
| 15 - 20 | 0.2 이하 |
장비 상태
고객사 장비 설치 후 Turned on/IDLE 상태에서 진동 측정을 진행하였습니다.
측정 장비
Data Physics DAQ
- 하드웨어: QUATTRO, Serial Number: 22436
- 소프트웨어: SignalCalc ACE
Accelerometer: PCB 393B05
측정 Set-up
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 상태 | 진동 스펙 | 측정 축 | 격자보(Floor) | DVIA-P10000 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. 격자보(Base) 2. DVIA-P10000 | Turned on/IDLE | 진동 스펙 참조 | 수직(Z-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | |||
| 전후(Y-axis) | ✗ FAIL | ✓ PASS |
측정 데이터
수직(Z-axis) Autospectrum
수직(Z-axis) VC Curves
좌우(X-axis) Autospectrum
좌우(X-axis) VC Curves
전후(Y-axis) Autospectrum
전후(Y-axis) VC Curves
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
비고:
1. VC-A~B: 8~80 Hz, VC-C~G: 1~80 Hz 옥타브 밴드 측정값.
2. 정밀도: 마이크로전자 공정에서는 라인 폭, 의료/제약에서는 입자(세포) 크기.
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케이스 스터디 정보
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