Tier-1 Semiconductor Suwon Nikon NSR-2205i12D DVIA-P7000 Inspection Report

DVIA-P7000의 동작 상태 점검 및 진동측정.

장비 IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였음. (일반적으로 10-30Hz 장비 진동)

진동측정 결과 전체적인 성능이 떨어지지만, 2023. 04. 14에 측정한 상부 장비 Turn off 상태에서의 Graph와 비교하면 장비 IDLE 진동에 의해 상부진동이 높게 측정된 것임을 알 수 있음.

Model: DVIA-P7000

Serial Number: 140416R6-1

Serial Number (SAC-07): 022469

Youngha Lee, Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS

December 12, 2023

December 18, 2023

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

Tier-1 Semiconductor

SAIT Cleanroom Building A, Suwon

Stepper NSR-2205i12D

일반적으로 장비가 IDLE 상태일 때, 10-30Hz 대역 또는 고주파 대역에서 장비진동이 발생하므로 상판 측정 시 해당 진동이 측정될 수 있습니다.

2023년 04월 14일 점검한 제품으로 당시 자료와 비교하면 현재는 장비 IDLE 진동의 영향으로 상부 진동이 높게 측정되었습니다.

제진대의 정확한 점검 및 튜닝을 위해서는 상부장비의 완전한 Turn off가 필요합니다.

8.1) PULSE 22

Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040

Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)

8.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

Accelerometer Sensor

Displacement Sensor

가속도 센서와 변위 센서가 진동의 변화를 올바르게 센싱하고 정상 작동합니다.

Z-axis (Vertical) Passive Transmissibility

Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 이하지만 비대칭형으로 출력됩니다.

10Hz, 20-80Hz 대역에서 설치 구조, Utility에 의한 공진봉과 장비 IDLE 진동에 의한 공진봉이 있습니다.

Active Transmissibility Graph에서 1-7Hz 대역에서 Transmissibility 0dB 이상으로 설치 구조, Utility에 의한 진동과 상부 장비 IDLE 진동이 의심됩니다.

나머지 대역에서도 상부 장비 IDLE 진동으로 의심되는 공진봉이 다수 존재합니다.

Z-axis (Vertical) Feedforward Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)

X-axis (Left to Right) Passive Transmissibility

Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 올바른 형태로 출력됩니다.

35-50Hz 대역에서 커다란 공진봉이 있는데 설치 환경 구조에 의한 공진봉, 또는 장비 IDLE 진동에 의한 공진봉으로 의심됩니다.

Active Transmissibility Graph에서 1-10Hz 대역에서 Transmissibility 0dB 이상의 저조한 성능을 보이는데, 설치 구조, Utility에 의한 영향 혹은 장비 IDLE 상태 진동으로 의심됩니다.

50 Hz에서는 장비 IDLE 상태 진동에 대한 공진봉이 나타납니다.

X-axis (Left to Right) Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)

Y-axis (Front to Back) Passive Transmissibility

Passive Transmissibility Graph에서 DVIA-P의 공진봉이 10Hz 이하지만 뭉툭한 형태로 출력됩니다.

17Hz, 40, 70Hz 대역에서 장비 IDLE 진동에 의한 공진봉이 있습니다.

Active Transmissibility Graph에서 10Hz 대역에서 Transmissibility -10dB 보다 큰 다소 저조한 성능을 보이는데, 설치 구조, Utility에 의한 영향이 의심됩니다. 40, 70 Hz에서는 장비 IDLE 상태 진동에 대한 공진봉이 나타납니다.

나머지 대역에서는 Transmissibility 수치 -10dB 혹은 그 이상으로 올바른 제진 동작을 하고 있습니다.

Y-axis (Front to Back) Transmissibility, FFT Vibration (Floor, Active)

Z-axis (Vertical) VC curves

저주파 대역에서는 VC-F 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력되지만 그 상승폭이 큽니다. 장비 IDLE진동 혹은 설치 구조/Utility 설치 환경에 의한 영향일 수 있습니다.

위 그래프에서 10-60Hz 대역에서 하판의 진동보다 상판이 진동이 더 크게 출력되는데 Daeil UI Program Transmissibility Graph과 비교하여 확인 시 해당 진동은 상부 장비의IDLE상태 진동으로 추측됩니다.

Z-axis (Vertical) VC curves (23.04.14 측정 장비 Off 상태)

2023년 4월 장비 Turn off 상태의 진동측정 결과에 따르면 4-60Hz 대역에서 올바른 제진을 하고 있는 것을 확인할 수 있다.

따라서, 23.12.12에 측정한 VC-Curve의 증폭된 그래프는 장비 IDLE 진동에 의한 영향으로 판단할 수 있습니다.

X-axis (Left to Right) VC curves

저주파 대역에서는 VC-F 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.

10Hz 대역까지는 성능이 다소 저조하나 이후로는 좋은 성능이 출력됩니다.

X-axis (Left to Right) VC curves (23.04.14 측정 장비 Off 상태)

2023년 4월 장비 Turn off 상태의 진동측정 결과에 따르면 4-60Hz 대역에서 올바른 제진을 하고 있는 것을 확인할 수 있다.

따라서, 23.12.12에 측정한 VC-Curve의 증폭된 그래프는 장비 IDLE 진동에 의한 영향으로 판단할 수 있습니다.

Y-axis (Front to Back) VC curves

저주파 대역에서는 VC-F 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력되지만 그 상승폭이 큽니다. 이는 장비 진동 혹은 설치 구조/Utility 설치 환경에 의한 영향일 수 있습니다.

50Hz 대역에서 하판의 진동보다 상판이 진동이 더 크게 출력되는데 Daeil UI Program Transmissibility Graph과 비교하여 확인 시 해당 진동은 상부 장비의IDLE상태 진동으로 추측됩니다.

Y-axis (Front to Back) VC curves (23.04.14 측정 장비 Off 상태)

2023년 4월 장비 Turn off 상태의 진동측정 결과에 따르면 4-60Hz 대역에서 올바른 제진을 하고 있는 것을 확인할 수 있다.

따라서, 23.12.12에 측정한 VC-Curve의 증폭된 그래프는 장비 IDLE 진동에 의한 영향으로 판단할 수 있습니다.