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설치 보고서
DVIA-P Series
05-21-2026

Tier-1 Semiconductor Giheung SIX-3001 DVIA-P7000 Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
SIX-3001
DVIA-P7000

Contents

개요

DVIA-P7000 능동 제진 플랫폼이 적절히 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.

제진대

모델: DVIA-P7000

시리얼 넘버: 230825R1

엔지니어

대일시스템 Youngha Lee

튜닝 날짜

2023년 12월 04일

보고서 작성일

2023년 12월 08일

출장 일자

2017년 12월 27일 ~ 2017년 12월 29일

설치 장소

Tier-1 Semiconductor 5Line C/R, Giheung

End User

Tier-1 Semiconductor

고객사 장비

Manufacturer: N/A

Equipment: Micro focus X-ray inspection system

Model: SIX-3001

데이터&이미지

Z축 (수직) Transmissibility

Z축 (수직) VC curves

X축 (좌우) Transmissibility

X축 (좌우) VC curves

Y축 (전후) Transmissibility

Y축 (전후) VC curves

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		Detail Size
μm
Workshop (ISO)뚜렷이 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 공간에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않음. 수술실, 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 미세저울, 광학저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 라인폭 검사·리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-DSEM/TEM 등 고성능 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노급 E-Beam 리소그래피 등 최고 수준 시스템.3.12 (125)< 0.1
VC-F극저소음 연구 공간. 설계 기준으로 권장하지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극저소음 연구 공간. 설계 기준으로 권장하지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드, VC-C~G는 1–80 Hz 1/3 옥타브 밴드로 측정합니다.

2. Detail size는 반도체 라인폭 또는 의료·연구 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일05-21-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
SIX-3001
DVIA-P7000

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