Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P4 3F Line B05 Bruker NM-VI DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
점검 배경: Tier-1 Semiconductor 평택사업장 P4 3층 Line B05에 설치된 DVIA-P4000 컨트롤러에 진동(Vibration) 알림이 발생하여, 양산 가동을 앞두고 시스템 안정화를 위한 긴급 점검을 요청받음
조치 결과 및 결론: 두 가지 상부 장비 구동 조건 모두에서 제어 마진을 확보할 수 있도록 Feedback 제어기 재튜닝을 진행함. 전 축에서 고객사 요구 진동 스펙(VC-D)을 안정적으로 만족하도록 조치를 완료함.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 230207R1
엔지니어
대일시스템 정성윤 연구원
튜닝 날짜
2026년 05월 29일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 평택 P4 3F Line B05
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
Manufacturer: Bruker
Equipment: NM-VI
Model: Photomask Repair
장비 스펙
VC-D
장비상태
장비 설치 및 Turned on
결론
발진 원인 및 조치: 상부 장비의 상태(Loading 후, Unloading 후)에 따라 시스템의 동적 특성이 변화함을 확인함. 상부 장비의 두 조건(Loading 후, Unloading 후) 모두에서 시스템이 안정적으로 구동되도록 Feedback 제어기 재튜닝을 완료함.
성능 검증: 튜닝 후 상부 장비의 구동 조건과 무관하게 발진이 억제되었음을 확인하였으며, 고객사 요구 진동 스펙(VC-D)을 전 축에서 만족함을 확인함.
측정 데이터 요약
| 측정 장소 | 상태 | 진동 스펙 | 방향 | 측정값 | 요구조건 비교 |
|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Semiconductor P4 Line 3F B05 DVIA-P4000(Active On) | Turned on | VC-D | Vertical | VC-E @ 20 Hz | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 4 Hz | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-E @ 1.5 Hz | ✓ PASS |
데이터 & 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
참고자료
참고:
1. VC-A/B는 8–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서 측정하고, VC-C–G는 1–80 Hz에서 측정합니다.
2. Detail size는 반도체 제조의 라인 폭 또는 의학 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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