Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P4 Bruker nm-VI DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
티어1 반도체 평택사업장 P4 3층 라인에 설치된 DVIA-P4000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 안착 후 Turned on 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
DVIA-P4000을 노트북과 연결하여 UI software을 통해 피드백과 피드포워드 튜닝 및 Data Physics 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.
Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 230207R1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원, 서종화
측정 날짜
2025년 01월 06일
설치 장소
티어1 반도체 평택 P4 3층 라인
End User
티어1 반도체
고객사 장비
Manufacturer: Bruker
Equipment: nm-VI
Model: Photomask repair
장비상태
장비 설치 및 Turned on
진동 스펙
VC-D
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 하부패드 측정값 | DVIA-P4000 측정값 | 하부패드 결과 | DVIA-P4000 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 티어1 반도체 평택 P4 3층 Line 1. 하부패드 2. DVIA-P4000 | 장비 설치 및 Turned on | Vertical | VC-D | VC-D @ 50 Hz | VC-F @ 50 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D | VC-C @ 63 Hz | VC-F @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-D | VC-C @ 63 Hz | VC-G @63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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