Tier-1 Semiconductor Giheung SR1 Bruker AFM NM-VI DVIA-P4000 Inspection Report
Contents
개요
삼성전자 기흥사업장에 설치된 DVIA-P 2대에 대한 점검 요청으로 인해 점검 진행했습니다.
Daeil UI Program Transmissibility 확인 결과 정상적인 Performance를 보입니다.
진동측정결과 장비 IDLE 상태진동에 의해 상판의 진동 측정값이 높게 측정됩니다.
정확한 점검을 위해서는 장비를 Off 한 상태에서의 점검 및 Tuning이 필요합니다.
Prepared for
Tier-1 Semiconductor
시스템 정보
Model: DVIA-P4000
Serial Number: 200805R3
Serial Number (SAC-07): 038847B
엔지니어
Youngha Lee, Jongwon Park from DAEIL SYSTEMS
점검 날짜
2023년 12월 20일
보고서 작성일: 2023년 12월 22일
출장 일자: 2017년 12월 27일~12월 29일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor SR1 line, Giheung
장비
Bruker AFM NM-VI(NM-6)
진동 결과 요약
| 측정 지점 | Z축 (Vertical) 1-10 Hz | Z축 (Vertical) 12.5-80 Hz | X축 (Left to Right) 1-10 Hz | X축 (Left to Right) 12.5-80 Hz | Y축 (Front to Back) 1-10 Hz | Y축 (Front to Back) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | C | C | D | D | D | D |
| Active | E | D | E | D | E | D |
상부 장비 IDLE 상태로 진동측정 진행.
Z축 측정 결과 10-30 Hz대역 구간에서 감쇠량이 적습니다.장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향으로 추측됩니다.
X축 측정 결과 15-40Hz대역에서 장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향을 받아 상판 고주파 대역의 진동 측정량이 더 큽니다.
Y축 측정 결과 6-10, 30Hz대역에서 장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향을 받아 상판 고주파 대역의 진동 측정량이 더 큽니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해 상부 장비 Turn off 상태로 진동 측정, Tuning이 필요합니다.
데이터&이미지
Displacement Sensor Graph
Accelerometer Graph
가속도 센서와 변위 센서가 진동의 변화를 올바르게 센싱하고 정상 작동합니다.
Z-axis (Vertical) Transmissibility
바닥에 진동을 부여하여 Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과, 3Hz부터 -10dB 이상의 감쇠율을 보입니다.
4.5Hz대역에서 10dB까지 상승하는 공진봉이 존재하지만 장비 IDLE 상태 진동으로 추측됩니다.
Z-axis (Vertical) VC curves
1-7Hz의 저주파 대역에서는 VC-G 이하로 진동이 적어 비례진동의 특성상 낮은 감쇠율이 출력됩니다.
진동측정결과 10-30 Hz대역 구간에서 감쇠량이 적습니다. 하지만 UI Program Graph와 비교하여 판단했을 때 올바른 동작을 하고 있기 때문에, 이는 장비 IDLE 상태에 의한 진동으로 판단됩니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 장비 Turn off 상태로 진동 측정이 필요합니다.
X-axis (Left to Right) Transmissibility
Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과 5z부터 0B 이하의 감쇠율을 보입니다.
10 18, 24, 27, 36Hz 대역에서 0dB까지 상승하는 공진봉이 존재하는데 장비 IDLE 상태에 대한 진동일 수 있지만 수평축으로 가진이 불가하여 해당 진동 여부를 판단할 수 없습니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 상부 장비 Turn off 상태에서의 제진대의 점검이 필요하며 추가 Tuning시 성능이 향상될 수 있습니다.
X-axis (Left to Right) VC curves
진동측정결과 1-10Hz대역에서 진동 감쇠능력이 나타납니다.
하지만, 15-40Hz 구간에서 하판의 진동에 비해 상판의 진동이 큽니다.
UI Program Transmissibility Graph에서도 공진봉이 존재하기 때문에, 이는 장비 IDLE 상태에 의한 진동으로 판단됩니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 장비 Turn off 상태로 진동 측정이 필요합니다.
Y-axis (Front to Back) Transmissibility
Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과 3Hz부터 -10dB 이상의 감쇠율을 보입니다.
12, 32Hz대역에서 0dB까지 상승하는 공진봉이 존재하는데 장비 IDLE 상태에 대한 진동일 수 있지만 수평축으로 가진이 불가하여 해당 진동 여부를 판단할 수 없습니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 장비 Turn off 상태에서의 제진대의 점검이 필요하며 추가 Tuning시 성능이 향상될 수 있습니다.
Y-axis (Front to Back) VC curves
진동측정결과 1-6Hz대역에서 진동 감쇠가 일어납니다. 6-10, 30Hz 구간에서 하판의 진동에 비해 상판의 진동이 큽니다.
UI Program Transmissibility Graph에서도 공진봉이 존재하기 때문에, 이는 장비 IDLE 상태에 의한 진동으로 판단됩니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 장비 Turn off 상태로 진동 측정이 필요합니다.
참고자료
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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