Tier-1 Semiconductor Hwaseong NRD Line 8F Bruker NM-VI DVIA-P4000 (036174) Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 화성사업장에 NRD Line 8F에 설치된 DVIA-P4000 점검 진행하였습니다.
Air 공급 후, 제진대 부상 명령을 내리지 않았음에도 불구하고 자동으로 부상이 시작되는 현상이 확인되었습니다.
본 보고서는 2023년 12월 14일 진행된 점검 보고서와의 성능 비교를 바탕으로 작성되었습니다.
장비 설치 및 IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버(SAC-07): 036174
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
점검 날짜
2025년 09월 18일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 화성사업장 NRD Line 8F
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
Manufacturer: Bruker
Equipment: Photomask Repair System
Model: NM-VI
장비 스펙
VC-D
장비상태
장비 설치 및 IDLE
진동 측정 장비
Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
Unit 4번 Air Out 포트에서 불필요하게 에어가 공급되어 제진대 4개 Unit이 동시에 부상하는 현상이 확인되었습니다. Air 라인의 꼬임 여부 등 세부 원인은 현장 여건상 정밀 점검을 진행하지 못해 정확히 규명하지는 못했으나, 조치 이후 동일한 현상은 재발하지 않았습니다. 또한 제진대 Controller에 점등되어 있던 Air 및 POS 경고등이 모두 소거된 것을 확인하였습니다.
이번 점검을 통해 제진대가 정상적으로 작동함을 확인하였으며, 2023년 12월 14일 점검 당시 보고되었던 성능 저하 문제는 모두 해소되었습니다. 모든 방향에서 진동 스펙을 만족하는 결과를 확인하였습니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동스펙 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥진동 | DVIA-P4000 | 바닥진동 | DVIA-P4000 | ||||
| Tier-1 Semiconductor 화성사업장 NRD Line 8F 1. 바닥진동 2. DVIA-P4000 | 장비 설치/ IDLE | Vertical | VC-D | VC-C @ 63 Hz | VC-F @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-B @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Front to Back | VC-B @ 50 Hz | VC-F @ 50 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical VC Curves (23.12.14)
2023.12.14 점검 당시 확인되었던 1–40 Hz 구간에서 제진대 상판 진동이 바닥 진동보다 크게 나타났던 문제는 해소되었습니다. 현재 모든 구간에서 진동 스펙을 충족함을 확인하였습니다.
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right VC Curves (23.12.14)
2023.12.14 점검 당시 확인되었던 1–50 Hz 구간에서 제진대 상판 진동이 바닥 진동보다 크게 나타났던 문제는 해소되었습니다. 현재 모든 구간에서 진동 스펙을 충족함을 확인하였습니다.
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back VC Curves (23.12.14)
2023.12.14 점검 당시 확인되었던 1–40 Hz 구간에서 제진대 상판 진동이 바닥 진동보다 크게 나타났던 문제는 해소되었습니다. 현재 모든 구간에서 진동 스펙을 충족함을 확인하였습니다.
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
참고자료
Generic Vibration Criteria
참고:
1. VC-A/B is measured in 1/3 octave bands from 8-80 Hz, VC-C through VC-G from 1-80 Hz.
2. Detail size refers to line widths in microelectronics manufacturing or particle sizes in medical research.
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케이스 스터디 정보
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