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설치 보고서
DVIA-P Series
06-19-2026

Tier-1 Semiconductor Giheung Hitachi In-Line SEM XF-1000 DVIA-P10000 Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Hitachi High Tech
In-Line SEM
XF-1000
DVIA-P10000
251020R2

Contents

개요

Tier-1 Semiconductor 기흥 NRD K라인 4층에 설치된 DVIA-P10000 점검을 진행하였습니다.

장비 Turned on/IDLE 상태로 점검 및 진동 측정을 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-P10000

시리얼 넘버: 251020R2

엔지니어

대일시스템 이채원

대일시스템 박동규

대일시스템 김태헌

튜닝 날짜

2026년 06월 02일

설치 장소

Tier-1 Semiconductor 기흥 NRD K라인 4층

End User

Tier-1 Semiconductor

고객사 장비

Manufacturer: HITACHI High Tech

Equipment: In-Line SEM

Model: XF-1000

진동 스펙

방향주파수 [Hz]한도 [µm p-p]
수평1 - 201.0 이하
수직1 - 31.0 이하
3 - 150.4 이하
15 - 200.2 이하

장비 상태

고객사 장비 설치 후 Turned on/IDLE 상태에서 진동 측정을 진행하였습니다.

진동 측정 장비

Data Physics DAQ

- Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

- Software: SignalCalc ACE

Accelerometer: PCB 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 2400

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

측정 데이터 요약

측정 장소상태진동 스펙방향FloorDVIA-P10000
1. 격자보
2. DVIA-P10000		Turned on/IDLE진동 스펙 참조수직(Z-axis)✓ PASS✓ PASS
좌우(X-axis)✓ PASS✓ PASS
전후(Y-axis)✗ FAIL✓ PASS

측정 데이터

Vertical Autospectrum

Vertical VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back VC Curves

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일06-19-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
Hitachi High Tech
In-Line SEM
XF-1000
DVIA-P10000
251020R2

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