Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P1 ZEISS Gemini SEM 460 DVIA-ML1000 Installation Report
개요
Tier-1 Semiconductor 평택 P1 1F 연구실에서 DVIA-ML1000 튜닝 및 진동 측정.
측정·튜닝 시 장비 Turned on / IDLE.
측정 데이터는 VC 곡선으로 제시; 일반 진동 수준 기준은 본 케이스 맨 끝의 Reference에 수록(현장 보고서 부록과 동일).
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 251015R5
담당 엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 일자
2026년 2월 25일
보고서 작성일
2026년 2월 27일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 평택사업장 P1 1F 연구실
End User
Tier-1 Semiconductor
장비
제조사: ZEISS
장비: FE-SEM
모델: Gemini SEM 460
장비 진동 사양
현장 보고서는 FE-SEM 제조사·구매 기준의 허용 진동을 다이어그램(장비 사양 블록)으로 제시합니다. 측정 요약의 「진동 사양」 열은 이 정의를 따릅니다.
장비 허용 진동 다이어그램
장비 상태
장비 설치 완료; 튜닝·측정 시 Turned on / IDLE
측정 장비
Data Physics DAQ
하드웨어: QUATTRO, Serial Number: 22436
소프트웨어: SignalCalc ACE
가속도계
PCB Accelerometer, Model: 393B05
측정 설정
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
공학 단위: m/s
윈도우: Hanning
평균화: FFT Spectrum Averaging
평균 모드: Exponential, 40
결론
본 보고서에서 다룬 모든 방향·대역에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 축 | 진동 사양 | 측정 데이터 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | 바닥 | DVIA-ML1000 | ||||
| Tier-1 Semiconductor 평택사업장 P1 1F 1. 바닥진동 2. DVIA-ML1000 | Turned on / IDLE | 수직 | 장비 사양(상기 다이어그램) | VC-E @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | 통과 | 통과 |
| 좌우 | VC-F @ 2.5 Hz | VC-G @ 2.5 Hz | 통과 | 통과 | |||
| 전후 | VC-F @ 1 Hz | VC-G @ 1 Hz | 통과 | 통과 | |||
데이터 및 이미지
현장 보고서 14. 데이터&이미지 순서: 수직(VC, Autospectrum, 전달률), 좌우, 전후. Autospectrum 그래프는 저장소 파일명에 narrow-band가 쓰여 있습니다.
수직 VC Curves
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 VC Curves
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 VC Curves
전후 Autospectrum
전후 전달률
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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