Tier-1 Semiconductor Cheonan C5 ZEISS Versa Gemini SEM 460 DVIA-ML1000 Installation Report
개요
Tier-1 Semiconductor 천안캠퍼스 C5 분석실1 YEC FE-SEM 5호기, DVIA-ML1000 튜닝·진동 점검. 작업은 장비 Turned On / IDLE에서 수행, 정상 운용을 확인.
공개 케이스 정책: 고객사 데이터 취급 규정에 따라 이미지는 공개하지 않습니다(진동 측정 그래프와 자료/화면 캡처 모두).
제진·측정 요약에 따르면 모든 방향에서 VC 기준을 충족했으며, ZEISS 엔지니어를 통해 SEM imaging 정상 운용이 확인되었습니다.
진동 제어 시스템
모델: DVIA-ML1000 / 시리얼: 251015R4
엔지니어
정성윤 — 대일시스템(보고서 기재)
측정·점검 일자
2025년 12월 15일
보고서 작성일
2026년 1월 6일
설치 장소
천안캠퍼스 C5 분석실1
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
ZEISS / FE-SEM / Versa Gemini SEM 460
장비 스펙 (진동)
수직: VC-D / 수평: VC-E
장비 상태
Turned On / IDLE
진동 측정 장비
B&K LAN-XI DAQ 3050(3050-A-040) / PULSE LabShop 22
PCB 가속도계 393B05
진동 측정 Setup (보고서)
F Span 200 Hz, Lines 3200, m/s, Hanning, Overlap Max, Spectrum Averaging
결론 (보고서)
모든 방향에서 VC 기준을 만족, ZEISS 엔지니어 확인으로 SEM imaging 정상 운용
데이터·이미지
이 공개 케이스에는 게시하지 않음: 오토스펙트럼·VC·전달률 곡선과, 송부 자료/화면을 담은 이미지 전부(고객사 데이터 외부 반출 정책).
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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