본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-ULF Series
03-18-2026

YIMO ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ULF700 Installation Report (retuning after degraded performance)

DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMO
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ULF700

목차

개요

DVIA-ULF700 성능 저하로 인해 재튜닝을 수행했습니다.

재튜닝 후 DVIA-ULF700은 의도대로 동작합니다.

진동 절연 시스템 정보

모델: DVIA-ULF700

시리얼 번호: 250923R3

엔지니어

DAEIL SYSTEMS 이채원

튜닝 날짜

2026년 3월 18일

최종 사용자

N/A

튜닝 시도 횟수

2차(1차: 25.12.18))

위치

N/A

장비

제조사: ZEISS

장비: FE-SEM

모델: Sigma 360

진동 사양

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

튜닝 요청

N/A

측정 요약

측정 지점상태축VibrationSpecificationFloorDVIA-ULF700FloorDVIA-ULF700
1.Floor
2.DVIA-ULF700		Equipment is Turned on/IDLE수직Refer to item 9VC-E @ 4 HzVC-G @ 4 Hz✗ FAIL✓ PASS
좌우VC-E @ 2.5 HzVC-G @ 2.5 Hz✓ PASS✓ PASS
전후VC-E @ 1.6 HzVC-G @ 1.6 Hz✓ PASS✓ PASS

UI 프로그램을 통해 얻은 측정 데이터

수직 VC 곡선

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC 곡선

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC 곡선

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진

참조

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
작업장 (ISO)명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)해당 없음
사무실 (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)해당 없음
주거 지역 (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
수술실 (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 포함 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.1.56 (62.5)해당 없음
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.0.78 (31.25)해당 없음

*참고:*

- 8–80 Hz(VC-A/B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일03-18-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMO
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ULF700

관련 케이스 스터디

Greater Bay Area Quantum Center ZEISS Sigma 360 DVIA-ULF700 Installation Report
DVIA-ULF Series

Greater Bay Area Quantum Center ZEISS Sigma 360 DVIA-ULF700 Installation Report

05-21-2026자세히
Greater Bay Area Quantum Center ZEISS Sigma 360 DVIA-ULF700 Installation Report
DVIA-ULF Series

Greater Bay Area Quantum Center ZEISS Sigma 360 DVIA-ULF700 Installation Report

05-21-2026자세히
Kunshan DeKaiYiTe ZEISS FE-SEM Sigma 360 DVIA-ULF700 Installation Report
DVIA-ULF Series

Kunshan DeKaiYiTe ZEISS FE-SEM Sigma 360 DVIA-ULF700 Installation Report

12-18-2025자세히