설치 보고서
DVIA-ULF Series
04-08-2026
Nanjing Hangpu ZEISS Sigma 360 DVIA-ULF700 Installation Report
DVIA-ULF Series
Installation Report
Nanjing Hangpu
ZEISS
Sigma 360
FIB-SEM
DVIA-ULF700
250923R3
Contents
개요
DVIA-ULF700의 성능 저하로 인해 정상 동작 회복을 위한 재튜닝을 진행하였습니다.
재튜닝 결과 검증을 위해 진동 측정을 진행하였으며, Data는 Autospectrum 형식으로 표기하고 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
재튜닝 후 DVIA-ULF700이 의도한 대로 동작함을 확인하였습니다.
제진대
모델: DVIA-ULF700
시리얼 넘버: 250923R3
엔지니어
이채원 · 대일시스템
설치 날짜
2026.03.18
End User
Nanjing Hangpu
튜닝 횟수
2nd(1st: 25.12.18)
설치 장소
Nanjing City
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비명: FIB-SEM
모델: Sigma 360
진동 스펙
Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1-8 | 0.03 |
| 8-45 | 0.15 |
| 45-100 | 2 |
Horizontal
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1-10 | 0.04 |
| 10-20 | 0.17 |
| 20-70 | 0.3 |
| 70-100 | 2 |
측정 데이터 요약
| Measurement Point | Vibration Specifications | Axis | Floor | DVIA-ULF700 |
|---|---|---|---|---|
| 1. Floor 2. DVIA-ULF700 | See Section 9 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS |
측정 데이터
Vertical — Autospectrum
Left to Right — Autospectrum
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기 등을 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술과 연관된 이미징에 관한 것입니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일04-08-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
Nanjing Hangpu
ZEISS
Sigma 360
FIB-SEM
DVIA-ULF700
250923R3
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