본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-T Series
12-01-2025

Robocube Tech DVIA-T87 (250922R2) Installation Report

DVIA-T Series
Installation Report
Robocube Tech
DVIA-T87
250922R2

작성자

엔지니어: 박동규

측정 날짜

2025년 11월 26일

보고서 작성일

2025년 12월 1일

개요

로보큐브테크 조립실에 설치된 T87의 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

고객사에서 확인을 하고 싶었던 사항은 총 2가지로, 첫째 오토레벨링이 정상적으로 작동 되어서 장비가 올올 갔을 때 유지가 가능한지, 둘째 진동이 크게 발생하는 경우에도 제진대가 정상적으로 제진을 하고 있는지를 진동 측정 장비로 확인해보는 것이 요청 사항이었습니다.

바닥가진 자체가 너무 작아서 고객사의 요청으로 추가적인 가진을 주어 진동측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-T87

시리얼 넘버: 250922R2

엔지니어

대일시스템 개발팀 박동규

설치 장소

로보큐브테크 조립실

End User

로보큐브테크

고객사 장비

Manufacturer: 로보큐브테크

Equipment: 6축 구동기(내부 검토용)

Model: N/A

장비 스펙

-

장비상태

장비 설치 및 Turned on/IDLE

진동 측정 장비

10.1) Brüel & Kjær LAN-XI DAQ Type 3050 DAQ

-Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040

-Software: B&K Pulse Labshop 22 Version

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

Bandwidth: 200 Hz

Lines: 3200

Averaging: Spectrum Averaging

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Overlap: Max

결론

측정 지점 장비를 올려도 제진대가 Auto-Leveling 기능이 잘 작동하는 것을 확인하였습니다.

모든 방향에서 제진대 상판의 진동이 바닥의 진동보다 감쇠 되어 더 작은 진동 값이 측정되는 것을 확인하였습니다.

측정 지점 1에서 Vertical 방향의 63 Hz VC-B, Left to Right 방향의 25 Hz 에서는 VC-B, Front to Back 방향의 10Hz 에서는 VC-A의 바닥 진동이 측정, 제진대 상판에서는 Vertical 방향의 10 Hz VC-E, Left to Right 방향의 16 Hz 에서는 VC-E, Front to Back 방향의 10Hz 에서는 VC-B의 진동이 나타났습니다.

Auto-Leveling 정상작동 여부와 제진대 제진 결과 데이터를 모두 고객사 측과 함께 확인하여 문의 사항을 해결하였습니다.

결과 요약

측정 장소상태방향바닥진동DVIA-T87
로보큐브테크 조립실
1. 바닥진동
2. DVIA-T87
장비 설치 및 Turned on/IDLEVerticalVC-B
@ 63 Hz
VC-E
@ 10 Hz
Left to RightVC-B
@ 25 Hz
VC-E
@ 16 Hz
Front to BackVC-A
@ 10 Hz
VC-B
@ 10 Hz

데이터&이미지

14.1) 측정 데이터1

Vertical VC Curves

(Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T87)

Vertical Autospectrum

(Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T87)

Vertical Transmissibility

(Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T87)

Left to Right VC Curves

(Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T87)

Left to Right Autospectrum

(Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T87)

Left to Right Transmissibility

(Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T87)

Front to Back VC Curves

(Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T87)

Front to Back Autospectrum

(Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T87)

Front to Back Transmissibility

(Red: 바닥 진동, Blue: DVIA-T87)

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
Detail Size
μm
Workshop (ISO)Distinctly perceptible vibration. Appropriate to workshops and non-sensitive areas.800 (32,000)N/A
Office (ISO)Perceptible vibration. Appropriate to offices and non-sensitive areas.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)Barely perceptible vibration. Appropriate to sleep areas in most instances.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)Vibration not perceptible. Suitable for surgical suites, microscopes to 100x.100 (4,000)25
VC-AAdequate for optical microscopes to 400x, microbalances, optical balances.50 (2,000)8
VC-BAppropriate for inspection and lithography equipment to 3μm line widths.25 (1,000)3
VC-CAppropriate for optical microscopes to 1000x, lithography equipment to 1μm.12.5 (500)1 - 3
VC-DSuitable for demanding equipment including electron microscopes (SEMs/TEMs).6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-EFor the most demanding systems including E-Beam lithography at nanometer scales.3.12 (125)< 0.1
VC-FFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.1.56 (62.5)N/A
VC-GFor extremely quiet research spaces. Not recommended as design criterion.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B is measured in 1/3 octave bands from 8-80 Hz, VC-C through VC-G from 1-80 Hz.

2. Detail size refers to line widths in microelectronics manufacturing or particle sizes in medical research.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일12-01-2025
태그
DVIA-T Series
Installation Report
Robocube Tech
DVIA-T87
250922R2