설치 보고서

DVIA-M Series

12-09-2025

Wuxi YIDONG YF-1801 FE-SEM DVIA-ML1000 Installation Report (2025-12-09)

DVIA-M Series

Installation Report

YIDONG

YF-1801

FE-SEM

Wuxi

DVIA-ML1000

개요

DVIA-ULF1000의 이미지 불안정으로 DVIA-ML1000으로 교체. 1차(250912R5), 무석(Wuxi), YIDONG YF-1801 FE-SEM, On/IDLE. End User: Huasheng Lianying Vibration Damping Platform

시스템 DVIA-ML1000 / 250912R5

엔지니어 이채원(대일시스템) 튜닝·보고서 2025-12-09

튜닝 1차 Location 중국 무석

장비 YIDONG / FE-SEM / YF-1801

장비 상태 On/IDLE, 튜닝 요청 N/A

데이터·이미지 — 수직·좌우·전후 Transmissibility, 장비 사진 등(총 4장)

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일12-09-2025

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YIDONG

YF-1801

FE-SEM

Wuxi

DVIA-ML1000

Wuxi YIDONG YF-1801 FE-SEM DVIA-ML1000 Installation Report (2025-12-09)

개요

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

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