Nano Convergence Technology Institute ZEISS X-ray Microscope Versa 630 Installation Report
목차
개요
나노종합기술원 4F Line에 설치된 DVIA-ML3000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML3000
시리얼 넘버: 250805R2
담당 엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 일자
2025년 12월 09일
보고서 작성일
2025년 12월 10일
설치 장소
나노종합기술원 4F Line
최종 사용자
나노종합기술원
장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: X-ray Microscope
Model: Versa 630
사양
장비 상태
장비 설치 및 IDLE
측정 장비
Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
측정 설정
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 Spec을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 지점 | 상태 | 진동 스펙 | 방향 | 측정 데이터 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML3000 | 바닥 | DVIA-ML3000 | ||||
| 나노종합기술원 4F Line 1. 바닥 2. DVIA-ML3000 | 장비 설치 및 IDLE | VC-C | 수직 | VC-D @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| VC-C | 좌우 | VC-D @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| VC-D | 전후 | VC-D @ 80 Hz | VC-G @ 80 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
Reference
일반 진동 기준
*참고:*
- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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