Thermo Fisher Scientific TFS Helios (Brigham Young University) DVIA-ML1000 (250708R4-3) Installation Report
Contents
소개
본 보고서는 해당 현장에서 수행된 제진 플랫폼 설치 및 진동 측정을 정리합니다. 설치 세부 사항 참고용으로 활용해 주시기 바랍니다.
결과 요약
아래 결과를 요약합니다.
ML 1000 ON PASSED the Vibration specifications
제품 정보
| 납품 부품 | 시리얼 넘버 | 소프트웨어 |
|---|---|---|
| ML 1000 | 250708R4-3 | Site Specific Optimization |
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 250708R4-3
담당 엔지니어
Phillip Macdonald, Director of Installations
작업 완료
2025년 9월 11일
보고서 일자
2025년 9월 10일
엔드 유저
Felipe Rivera, A-153 ASB, Provo, UT 84602
설치 장소
Brigham Young University, Electron Microscopy Facility, A 116
장비
제조사: Thermo Fisher Scientific
장비: TFS Helios
Electron Microscopy Facility designation: A 116
장비 상태
System in position and operational.
작업 요약
We installed the system by
Providing lifting services
Positioning the daeil under the microscope
Leveling the daeil to within .5mm
Connecting the compressed air line to the air supply line for the tool
We tested the system by
Creating and uploading a site specific tune
Collecting vibration data to verify the performance
We left the system
System in position and operational
설치자 메모
We used BYU's Microscope lift to install the Helios 1 onto the DVIA ML1000. The data shows that there was onboard vibration from the Helios at the time of data collection. The peaks are most notable at 32 and 50 Hz in the vertical direction and 25Hz in the horizontal direction. These vibrations don't exceed the specification and should not affect tool performance.
절차
보정 지진계 가속도계를 사용하여 대역폭 200, 단위 m/s(RMS)로 세 방향에서 진동 측정을 실시했습니다.
측정 설정
Bandwidth: 200
Lines: 3200
Window: Hanning
Coupling: ICP 2mA
Average Type: Stable
Duration: 60 seconds
Engineering Units: m/s (RMS)
X Axis Scaling: 1/3 Octave
사양
본 프로젝트에는 아래 진동 사양이 적용됩니다.
사양 요약
Tool: TFS Helios
Vibration
Vertical-Axis — VC-F
Left-Right, Front-Back-Axis — VC-G
상세 사양
결과
결과 요약
Below is a summary of the results:
ML 1000 ON PASSED the Vibration specifications
상세 결과
Detailed Results — TFS Helios
| 유형 | 위치 | 방향 | 사양 | 측정 | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| Vibration | Floor | Vertical | VC-F | VC-E | ✗ FAIL |
| VC-E | ✗ FAIL | ||||
| Left-Right | VC-G | VC-F | ✗ FAIL | ||
| Front-Back | VC-F | ✗ FAIL | |||
| DVIA ML | Vertical | VC-F | VC-G | ✓ PASS | |
| VC-F | ✓ PASS | ||||
| Left-Right | VC-G | VC-G | ✓ PASS | ||
| Front-Back | VC-G | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Figure 2: Vibration vertical floor
Figure 3: Vibration vertical DVIA
Figure 4: Transmissibility vertical
Figure 5: Vibration left-right floor
Figure 6: Vibration left-right DVIA
Figure 7: Transmissibility left-right
Figure 8: Vibration front-back floor
Figure 9: Vibration front-back DVIA
Figure 10: Transmissibility front-back
Figure 11: Installation detail
Figure 12: Compressed air
Figure 13: Serial number
Figure 14: Room overview
Reference
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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