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설치 보고서
DVIA-M Series
09-11-2025

Thermo Fisher Scientific TFS Helios (Brigham Young University) DVIA-ML1000 (250708R4-3) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
Brigham Young University
Helios
DVIA-ML1000

소개

본 보고서는 해당 현장에서 수행된 제진 플랫폼 설치 및 진동 측정을 정리합니다. 설치 세부 사항 참고용으로 활용해 주시기 바랍니다.

결과 요약

아래 결과를 요약합니다.

ML 1000 ON PASSED the Vibration specifications

제품 정보

납품 부품시리얼 넘버소프트웨어
ML 1000250708R4-3Site Specific Optimization

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 250708R4-3

담당 엔지니어

Phillip Macdonald, Director of Installations

작업 완료

2025년 9월 11일

보고서 일자

2025년 9월 10일

엔드 유저

Felipe Rivera, A-153 ASB, Provo, UT 84602

설치 장소

Brigham Young University, Electron Microscopy Facility, A 116

장비

제조사: Thermo Fisher Scientific

장비: TFS Helios

Electron Microscopy Facility designation: A 116

장비 상태

System in position and operational.

작업 요약

We installed the system by

Providing lifting services

Positioning the daeil under the microscope

Leveling the daeil to within .5mm

Connecting the compressed air line to the air supply line for the tool

We tested the system by

Creating and uploading a site specific tune

Collecting vibration data to verify the performance

We left the system

System in position and operational

설치자 메모

We used BYU's Microscope lift to install the Helios 1 onto the DVIA ML1000. The data shows that there was onboard vibration from the Helios at the time of data collection. The peaks are most notable at 32 and 50 Hz in the vertical direction and 25Hz in the horizontal direction. These vibrations don't exceed the specification and should not affect tool performance.

절차

보정 지진계 가속도계를 사용하여 대역폭 200, 단위 m/s(RMS)로 세 방향에서 진동 측정을 실시했습니다.

측정 설정

Bandwidth: 200

Lines: 3200

Window: Hanning

Coupling: ICP 2mA

Average Type: Stable

Duration: 60 seconds

Engineering Units: m/s (RMS)

X Axis Scaling: 1/3 Octave

사양

본 프로젝트에는 아래 진동 사양이 적용됩니다.

사양 요약

Tool: TFS Helios

Vibration

Vertical-Axis — VC-F

Left-Right, Front-Back-Axis — VC-G

상세 사양

결과

결과 요약

Below is a summary of the results:

ML 1000 ON PASSED the Vibration specifications

상세 결과

Detailed Results — TFS Helios

유형위치방향사양측정결과
VibrationFloorVerticalVC-FVC-EFAIL
VC-EFAIL
Left-RightVC-GVC-FFAIL
Front-BackVC-FFAIL
DVIA MLVerticalVC-FVC-GPASS
VC-FPASS
Left-RightVC-GVC-GPASS
Front-BackVC-GPASS

데이터 및 이미지

Figure 2: Vibration vertical floor

Figure 3: Vibration vertical DVIA

Figure 4: Transmissibility vertical

Figure 5: Vibration left-right floor

Figure 6: Vibration left-right DVIA

Figure 7: Transmissibility left-right

Figure 8: Vibration front-back floor

Figure 9: Vibration front-back DVIA

Figure 10: Transmissibility front-back

Figure 11: Installation detail

Figure 12: Compressed air

Figure 13: Serial number

Figure 14: Room overview

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일09-11-2025
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DVIA-M Series
Installation Report
Thermo Fisher Scientific
Brigham Young University
Helios
DVIA-ML1000