설치 보고서
DVIA-ULF Series
07-30-2025
ELP Vision Inspection System DVIA-ULFB350 Installation Report
DVIA-ULF Series
Installation Report
ELP
DVIA-ULFB350
Vision Inspection
목차
개요
ELP 클린룸 A동에 설치된 DVIA-ULFB350 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.장비 설치 및 Turned off 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ULFB350
시리얼 번호: 250617R4
담당 엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 일자
2025년 07월 29일
보고서 작성일
2025년 07월 30일
측정 장소
ELP 클린룸 A동
최종 사용자
ELP
장비 상태
장비설치/Turned off
장비 정보
제조사: ELP
장비: 화질검사 설비
모델: -
진동 사양
-
측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
하드웨어: QUATTRO, 시리얼 번호: 22436
소프트웨어: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
측정 설정
F Span: 200
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average Mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 VC-G의 진동이 측정됩니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥 | DVIA-ULFB350 |
|---|---|---|---|---|
| ELP 클린룸 A동 1.Floor 2.DVIA-ULFB350 | 장비설치/ Turned off | Vertical | VC-D @ 100 Hz | VC-G @ 100 Hz |
| Left to Right | VC-F @ 16 Hz | VC-G @ 16 Hz | ||
| Front to Back | VC-D @ 16 Hz | VC-G @ 16 Hz |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고 자료
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일07-30-2025
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
ELP
DVIA-ULFB350
Vision Inspection
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