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설치 보고서
DVIA-P Series
09-26-2025

Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P3 Line 7F ADVENTEST DR-SEM E5620 DVIA-P4000 Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ADVENTEST
DR-SEM

Contents

개요

Tier-1 Semiconductor 평택사업장 P3 Line 7F에 설치된 DVIA-P4000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 미설치 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-P4000

시리얼 넘버: 250609R1

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

점검 날짜

2025년 09월 26일

설치 장소

Tier-1 Semiconductor 평택사업장 P3 Line 7F

End User

Tier-1 Semiconductor

고객사 장비

Manufacturer: ADVENTEST

Equipment: DR-SEM

Model: E5620

장비 스펙

VC-D

장비상태

장비 미설치

진동 측정 장비

Data Physics DAQ

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

결론

모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.

측정 데이터

측정 장소상태방향진동 스펙측정값결과
------------바닥진동DVIA-P4000
Tier-1 Semiconductor 평택사업장 P3 Line 7F
1. 바닥진동
2. DVIA-P4000		장비 미설치VerticalVC-DVC-A @ 63 HzVC-G @ 63 Hz
Left to RightVC-C @ 31.5 HzVC-F @ 31.5 Hz
Front to BackVC-C @ 10 HzVC-E @ 10 Hz

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일09-26-2025
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ADVENTEST
DR-SEM

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