설치 보고서
DVIA-ULF Series
07-08-2025
FS2 Wadebro Cleanroom ZEISS Sigma 360 DVIA-ULF1000 Installation Report
DVIA-ULF Series
Installation Report
FS2
ZEISS
목차
개요
웨이드브로 1층 클린룸에 설치된 DVIA-ULF1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned off 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF1000
시리얼 넘버: 250523R3
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원, 정성윤
측정 날짜
2025년 07월 08일
설치 장소
웨이드브로 1층 클린룸
End User
FS2
장비 상태
장비설치/Turned off
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: Sigma 360
진동 스펙
N/A
진동 측정 장비
10.1) PULSE 22
Hardware: B&K Front End Type 3050-A-040
Software: B&K Pulse Labshop 22 Version
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 400
Engineering Units: m/s2
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average Mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ULF1000 | Floor | DVIA-ULF1000 | |||
| 웨이드브로 1층 클린룸 1.Floor 2.DVIA-ULF1000 | 장비 설치 및 Turned off | Vertical | VC-B @ 12.5 Hz | VC-D @ 12.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 63 Hz | VC-F @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-D @ 63 Hz | VC-E @ 63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
장비 사진
참고자료
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일07-08-2025
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
FS2
ZEISS
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