설치 보고서
DVIA-M Series
02-20-2025
YIMO ZEISS FE-SEM Sigma 300 DVIA-M1000 (250131R1) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
DVIA-M1000
250131R1
ZEISS
Sigma 300
FE-SEM
Jiujiang
Contents
개요
The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-M1000
시리얼 넘버: 250131R1
담당 엔지니어
Chaewon Lee, Jonghwa Suh from DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
February 20, 2025
보고서 작성일
25.02.20
튜닝 횟수
1st
설치 위치
Jiujiang
End User
Jiujiang Defu Techonology
장비
제조사: ZEISS
장비: FE-SEM
모델: Sigma 300
장비 상태
The equipment is installed/IDLE
Tuning Request
N/A
데이터 및 이미지
수직 전달률
좌우 전달률
전후 전달률
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일02-20-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
DVIA-M1000
250131R1
ZEISS
Sigma 300
FE-SEM
Jiujiang
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