설치 보고서
DVIA-M Series
03-24-2026
KYKY SEM EM-8200 DVIA-ML1000 (250107R5) Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
SEM
KYKY
EM-8200
DVIA-ML1000
250107R5
Contents
개요
The DVIA-ML1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 250107R5
담당 엔지니어
Chaewon Lee
튜닝 일자
26.03.11
보고서 작성일
26.03.24
End User
N/A
튜닝 횟수
1st
설치 위치
N/A
장비
제조사: KYKY
장비: SEM
모델: EM-8200
장비 상태
The equipment is turned off
측정 요약
| Measurement Point | Status | Axis | Measurement Data | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ML1000 | |||
| 1.Floor 2.DVIA-ML1000 | Equipment is Turned off | Vertical | VC-C @ 25 Hz | VC-G @ 25 Hz |
| Left to Right | VC-E @ 25 Hz | VC-G @ 25 Hz | ||
| Front to Back | VC-E @ 25 Hz | VC-G @ 25 Hz | ||
데이터 및 이미지
Figure
Vertical Autospectrum
Vertical Autospectrum
Left to Right Autospectrum
Left to Right Autospectrum
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일03-24-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
SEM
KYKY
EM-8200
DVIA-ML1000
250107R5
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