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설치 보고서
DVIA-M Series
08-05-2026

YIMO TECH Yidong Optics SEM DVIA-ML1000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
YIMO TECH
Yidong Optics
SEM
DVIA-ML1000
251125R2
Suzhou

Contents

개요

중국 쑤저우(Suzhou) 현장에 DVIA-ML1000을 설치한 뒤 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다.

진동 측정은 장비가 IDLE 상태일 때 수행했습니다.

측정 결과는 VC Curve 형식으로 정리했으며, 진동 수준을 판단할 수 있는 참고 자료를 함께 실었습니다.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-ML1000

Serial Number: 251125R2

엔지니어

Gyumin.Park · DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026.07.17

보고서 작성일

2026.07.29

End User

Yidong Optics Co., Ltd.

튜닝 횟수

2nd

설치 장소

Suzhou

장비

Manufacturer: Yidong Optics

Equipment: SEM

Model: NA

진동 사양

NA

장비 상태

IDLE

Tuning Request

측정 요약

Measurement PointVibration SpecificationsAxisResult
FloorDVIA-ML1000
1. Floor
2. DVIA-ML1000		See Section 9VerticalVC-DVC-G
Left to RightVC-FVC-G
Front to BackVC-EVC-G

측정 데이터 (UI 프로그램)

Vertical — Autospectrum

Vertical — VC Curves

Left to Right — Autospectrum

Left to Right — VC Curves

Front to Back — Autospectrum

Front to Back — VC Curves

Installation Photo

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준 진동 수준을 분류한 것입니다.

기준 곡선설명진폭(μm/s) (μin/s)세부 크기(μm)
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간, 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비, 40배 미만 현미경에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 대부분의 수술실, 100배율 이하 현미경 및 기타 저민감도 장비에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울, 근접·투영 정렬 장비 등에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피(스테퍼 포함) 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 세부 크기의 리소그래피·검사 장비(중간 민감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 표준.12.5 (500)1-3
VC-D전자현미경(SEM/TEM), E-Beam 시스템 등 까다로운 장비 대부분에 적합.6.25 (250)0.1-0.3
VC-E달성하기 까다로운 기준. 장경로·레이저 기반·소형 타겟 시스템, 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 극도로 까다로운 민감 시스템에 적합할 것으로 가정.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.0.78 (31.3)N/A

참고:

1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.

3. 본 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비 및 공정의 진동 요구 사항에 대해 전문가의 조언을 구하는 것이 권장됩니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일08-05-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO TECH
Yidong Optics
SEM
DVIA-ML1000
251125R2
Suzhou

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