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설치 보고서
DVIA-P Series
05-21-2026

LB Semicon Pyeongtaek P2 Line Nordson Integra 4800 DVIA-P2200 Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
LB Semicon
Nordson
Integra 4800

개요

LB 세미콘 평택 P2 line에 설치된 DVIA-P2200 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 안착 전 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-P2200

시리얼 넘버: 21223R2

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원, 서종화

측정 날짜

2025년 02월 07일

설치 장소

LB 세미콘 평택 P2 line

End User

LB 세미콘

장비 상태

장비 미설치

고객사 장비

Manufacturer: Nordson

Equipment: Auto Shear

Model: Integra 4800

진동 스펙

VC-B

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Average Mode: Exponential, 40

결론

모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.

측정 데이터

측정 장소상태진동 스펙방향측정값결과
FloorDVIA-P2200FloorDVIA-P2200
LB 세미콘 평택 P2 line
1. Floor
2. DVIA-P2200
장비 미설치VC-BVerticalVC-A
@ 8 Hz
VC-D
@ 8 Hz
FAILPASS
Left to RightVC-C
@ 63 Hz
VC-G
@ 63 Hz
PASSPASS
Front to BackVC-A
@ 31.5 Hz
VC-D
@ 31.5 Hz
FAILPASS

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)명확히 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않음. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않음. 수술실, 100배 현미경 등에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학현미경, 마이크로밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B검사 및 3μm 선폭 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학현미경, 1μm 리소그래피에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-DSEM/TEM 등 고난도 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노 E-Beam 리소그래피 등 최고 요구 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극저소음 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극저소음 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일05-21-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
LB Semicon
Nordson
Integra 4800