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설치 보고서
DVIA-M Series
07-01-2025

ZEISS Demo Laboratory ZEISS SEM EVO 15 DVIA-M1000 (241106R4) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
ZEISS
SEM
EVO 15
Shanghai
DVIA-M1000
241106R4

Contents

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-M1000

시리얼 넘버: 241106R4

담당 엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

June 30, 2025

보고서 작성일

July 1, 2025

Prepared for

ZEISS Demo Laboratory

튜닝 횟수

2nd (1st:24.12.03)

설치 위치

Shanghai, China

End User

ZEISS demo laboratory

장비

제조사: ZEISS

장비: SEM

모델: EVO15

장비 상태

The equipment is installed/IDLE

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

11. 장비

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지되는 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않음. 수술실, 최대 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A최대 400배 광학 현미경, 마이크로밸런스, 광학 밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B최대 3µm 선폭의 검사·리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C최대 1000배 광학 현미경, 최대 1µm 선폭 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-DSEM/TEM 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-빔 리소그래피 등 최고 난이도 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-01-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
ZEISS
SEM
EVO 15
Shanghai
DVIA-M1000
241106R4

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