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설치 보고서
DVIA-M Series
01-23-2026

YIMO Shanghai Pumi PrMat STM DVIA-M1000 (241101R2) Installation Report — Huasheng Lianying Vibration Damping Platform

DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
DVIA-M1000
241101R2
Shanghai
STM
PrMat
Shanghai Pumi

Contents

개요

DVIA-ML1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 241101R2

Prepared for

Shanghai Pumi Precision Instrument Technology Co., Ltd.

담당 엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026년 1월 22일

보고서 작성일

26.01.23

End User

Huasheng Lianying Vibration Damping Platform

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Shanghai, China

장비

Manufacturer: Shanghai Pumi Precision Instrument Technology Co., Ltd.

Equipment: STM

Model: PrMat STM

진동 사양

N/A

Equipment Condtion

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

N/A

측정 요약

StatusAxisFloorDVIA-M1000
PrMat STM is turned on/IDLEVerticalVC-C @ 31.5 HzVC-G @ 31.5 Hz
Left to RightVC-E @ 3.15 HzVC-G @ 3.15 Hz
Front to BackVC-D @ 2.5 HzVC-G @ 2.5 Hz

UI 프로그램 측정 데이터

수직 VC 곡선

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC 곡선

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC 곡선

전후 Autospectrum

전후 전달률

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일01-23-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
DVIA-M1000
241101R2
Shanghai
STM
PrMat
Shanghai Pumi

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