Tier-1 Semiconductor ZEISS FE-SEM GeminiSEM 560 DVIA-ML1000 (240925R4) Installation Report
Contents
개요
삼성전자 DSR에 설치된 DVIA-ML1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 안착 후 장비 IDLE 상태로 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
Bus가 지나다닐 때 건물에 전체적으로 진동이 발생하였습니다. 아래 표시된 모든 데이터는 Bus가 지나다닐 때 측정한 데이터입니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 240925R4
담당 엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원, 국내영업 김동환
튜닝 일자
2024년 10월 28일
보고서 작성일
2024년 11월 4일
End User
Tier-1 Semiconductor
튜닝 횟수
N/A
설치 위치
Tier-1 Fab, DSR A동 연구타워 지하 1층
장비
제조사: ZEISS
장비: FE-SEM
모델: GeminiSEM 560
장비 상태
장비 설치 및 IDLE
진동 측정 장비
8.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 사양
N/A
진동 측정 Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Tuning Request
N/A
결론
Active
모든 방향 모든 대역대에서 진동 스펙을 만족합니다.
Passive
일부 대역대에서 Spec out이 발생합니다. 이는 액티브 제진을 하지 않아서 생기는 자연스러운 현상입니다.
Turned off
일부 대역대에서 Spec out이 발생합니다.
측정 요약
액티브 제진대
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥 | DVIA-ML1000 | 바닥 결과 | 플랫폼 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Fab, DSR A동 연구타워 지하 1층 | Turned on/ IDLE · Active | Vertical | VC-A @ 10 Hz | VC-E @ 10 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Tier-1 Fab, DSR A동 연구타워 지하 1층 | Turned on/ IDLE · Active | Left to Right | VC-E @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Tier-1 Fab, DSR A동 연구타워 지하 1층 | Turned on/ IDLE · Active | Front to Back | VC-D @ 10 Hz | VC-G @ 10 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
패시브 제진대
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥 | DVIA-ML1000 | 바닥 결과 | 플랫폼 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Fab, DSR A동 연구타워 지하 1층 | Turned on/ IDLE · ✓ Passive | Vertical | VC-A @ 10 Hz | VC-B @ 10 Hz | ✗ FAIL | ✗ FAIL |
| Tier-1 Fab, DSR A동 연구타워 지하 1층 | Turned on/ IDLE · ✓ Passive | Left to Right | VC-E @ 80 Hz | VC-G @ 80 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Tier-1 Fab, DSR A동 연구타워 지하 1층 | Turned on/ IDLE · ✓ Passive | Front to Back | VC-F @ 80 Hz | VC-G @ 80 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
제진대 Turned off
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥 | DVIA-ML1000 | 바닥 결과 | 플랫폼 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Tier-1 Fab, DSR A동 연구타워 지하 1층 | Turned on/ IDLE · Turned off | Vertical | Operating Theatre @ 10 Hz | Operating Theatre @ 10 Hz | ✗ FAIL | ✗ FAIL |
| Tier-1 Fab, DSR A동 연구타워 지하 1층 | Turned on/ IDLE · Turned off | Left to Right | VC-E @ 80 Hz | VC-D @ 80 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Tier-1 Fab, DSR A동 연구타워 지하 1층 | Turned on/ IDLE · Turned off | Front to Back | VC-D @ 10 Hz | VC-B @ 10 Hz | ✓ PASS | ✗ FAIL |
데이터 및 이미지
1) Active — Vertical VC Curves
1) Active — Vertical Autospectrum
1) Active — Vertical Transmissibility
1) Active — Left to Right VC Curves
1) Active — Left to Right Autospectrum
1) Active — Left to Right Transmissibility
1) Active — Front to Back VC Curves
1) Active — Front to Back Autospectrum
1) Active — Front to Back Transmissibility
2) Passive — Vertical VC Curves
2) Passive — Vertical Autospectrum
2) Passive — Vertical Transmissibility
2) Passive — Left to Right VC Curves
2) Passive — Left to Right Autospectrum
2) Passive — Left to Right Transmissibility
2) Passive — Front to Back VC Curves
2) Passive — Front to Back Autospectrum
2) Passive — Front to Back Transmissibility
3) Turned off — Vertical VC Curves
3) Turned off — Vertical Autospectrum
3) Turned off — Left to Right VC Curves
3) Turned off — Left to Right Autospectrum
3) Turned off — Front to Back VC Curves
3) Turned off — Front to Back Autospectrum
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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