설치 보고서

DVIA-ML Series

07-01-2025

Supergravity Laboratory QIYUE SS-HV800 FIB-SEM DVIA-M3000 (240612R3) Installation Report

DVIA-ML Series

Installation Report

QIYUE

FIB-SEM

SS-HV800

Hangzhou

DVIA-M3000

개요

DVIA-M3000 능동형 진동 제어 플랫폼은 적절히 설치되었으며 의도된 대로 작동하고 있습니다.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-M3000

Serial Number: 240612R3

엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2025년 06월 27일

튜닝 횟수

1st

위치

Hangzhou, China

End User

Supergravity Laboratory

장비 상태

Manufacturer: QIYUE TECHNOLOGY

Equipment: FIB-SEM

Model: SS-HV800

The equipment is installed/IDLE

튜닝 요청

데이터 및 이미지

수직 방향 전달 함수 (Transmissibility)

좌우 방향 전달 함수

전후 방향 전달 함수

고객사 장비

13. 참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	해당 없음
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	해당 없음
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 포함 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일의 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	해당 없음
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	해당 없음

*참고:*

- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미함.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-ML Series

작성일07-01-2025

태그

DVIA-ML Series

Installation Report

QIYUE

FIB-SEM

SS-HV800

Hangzhou

DVIA-M3000

Supergravity Laboratory QIYUE SS-HV800 FIB-SEM DVIA-M3000 (240612R3) Installation Report

목차

개요

진동 제어 시스템 정보

엔지니어

튜닝 일자

튜닝 횟수

위치

End User

장비 상태

튜닝 요청

데이터 및 이미지

수직 방향 전달 함수 (Transmissibility)

좌우 방향 전달 함수

전후 방향 전달 함수

고객사 장비

13. 참고자료

일반 진동 기준

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

관련 케이스 스터디

Institute of Microsystems Thermo Fisher Scientific Talos F200 DVIA-M3000 (250708R7) Installation Report

Vertilite Raith E-beam Lithography DVIA-M3000 (241213R1) Installation Report

Jiangsu Shekoy Semiconductor New Materical NX5000En DVIA-M3000 (220919R4-2) Installation Report