Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P2 EUV ADVANTEST E5610 DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 평택사업장 P2 EUV 라인에 설치된 DVIA-P4000 튜닝 및 진동측정 진행했습니다.
튜닝 전 에어배관 연결 및 전기 차단함 연결 작업을 진행했습니다.
장비 안착 전 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
DVIA-P4000을 노트북과 연결하여 UI software을 통해 피드백과 피드포워드 튜닝 및 Data Physics 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.
Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 240405R2
엔지니어
대일시스템 이채원
튜닝 날짜
2024년 06월 28일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 평택 P2 EUV 라인
고객사 장비
ADVENTEST E5610
장비 진동 스펙
VC-D
장비 상태
Equipment is uninstalled
튜닝 횟수
1회차
진동 측정 장비
10.1) Data Physics
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
결론
장비의 모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
장비 안착 후 튜닝 진행 시 더 좋은 성능이 나올 것으로 예상됩니다.
측정 데이터
| 측정장소 | 장비 상태 | 방향 | 장비 스펙 | 측정값 | 측정 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-P4000 | Floor | DVIA-P4000 | ||||
| P2 EUV 라인 | 설치 전 | Vertical | VC-D (6.25E-06) | VC-B @ 4 Hz | VC-F @ 4 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left - Right | VC-D (6.25E-06) | VC-C @ 4 Hz | VC-D @ 4 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front - Back | VC-D (6.25E-06) | VC-C @ 4 Hz | VC-C @ 4 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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