설치 보고서
DVIA-P Series
07-05-2023
Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P3 ADVANTEST E5610 DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ADVANTEST
E5610
220617R2
Contents
작성
Engineer: Youngha Lee
Tuning date: 23.06.28
Report written date: 23.07.05
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
개요
DVIA-P4000 능동형 제진 플랫폼이 적절히 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.
시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 220617R2
엔지니어
Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 날짜
2023년 06월 28일
설치 위치
Tier-1 Semiconductor 평택 P3 라인
장비
ADVANTEST E5610
진동 결과 요약
| 측정 포인트 | Z축(수직)<br>1-10 Hz | Z축(수직)<br>10-80 Hz | X축(좌우)<br>1-10 Hz | X축(좌우)<br>10-80 Hz | Y축(전후)<br>1-10 Hz | Y축(전후)<br>10-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | F | D | C | D | D | D |
| Active | G | F | F | F | G | G |
데이터 및 이미지
Z축(수직) 전달률
Z축(수직) VC 곡선
X축(좌우) 전달률
X축(좌우) VC 곡선
Y축(전후) 전달률
Y축(전후) VC 곡선
전달률
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일07-05-2023
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ADVANTEST
E5610
220617R2
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