설치 보고서
DVIA-P Series
06-28-2023
Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P3 ADVANTEST E5610 DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ADVANTEST
E5610
Contents
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 220617R2
엔지니어
Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
튜닝 날짜
2023년 06월 28일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 평택 P3 라인
고객사 장비
Manufacturer: ADVANTEST
Equipment: DR-SEM
Model: E5610
튜닝 횟수
1회차
진동 기준
VC-D
측정 요약
| 측정 포인트 | Z축(수직)<br>1-10 Hz | Z축(수직)<br>10-80 Hz | X축(좌우)<br>1-10 Hz | X축(좌우)<br>10-80 Hz | Y축(전후)<br>1-10 Hz | Y축(전후)<br>10-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | F | D | C | D | D | D |
| Active | G | F | F | F | G | G |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일06-28-2023
태그
DVIA-P Series
Installation Report
Tier-1 Semiconductor
ADVANTEST
E5610
관련 케이스 스터디
DVIA-P Series
Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P2 EUV ADVANTEST E5610 DVIA-P4000 Installation Report
05-21-2026자세히
DVIA-P Series
Tier-1 Semiconductor Pyeongtaek P3 ADVANTEST E5610 DVIA-P4000 Installation Report
07-05-2023자세히
DVIA-P Series
Tier-1 Semiconductor Advantest E5610 DVIA-P4000 Installation Report
05-21-2026자세히