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설치 보고서
DVIA-M Series
05-11-2026

YIMO Zeiss Technology (Suzhou) ZEISS EVO 10 DVIA-MB1000 (240304R8) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
ZEISS
EVO 10
DVIA-MB1000

Contents

개요

DVIA-MB1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-MB1000

시리얼 넘버: 240304R8

담당 엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2024년 4월 4일

보고서 작성일

2024년 4월 9일

End User

Zeiss Technology (Suzhou) Co., Ltd

튜닝 횟수

2nd tuning

설치 위치

Suzhou, China

장비

Zeiss EVO 10

장비 상태

The equipment is installed / Turn Off

Tuning Request

Equipment allowable vibration

1-30Hz＜6 um/s，大于30Hz＜12 um/s

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-11-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMO
ZEISS
EVO 10
DVIA-MB1000

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