본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-M Series
09-10-2024

Henan Academy of Sciences ThermoFisher Helios FIB-SEM DVIA-M1000 (240216R1) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Henan Academy of Sciences
Zhengzhou
ThermoFisher
Helios
FIB-SEM
DVIA-M1000
240216R1

Contents

개요

The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-M1000

시리얼 넘버: 240216R1

담당 엔지니어

Chaewon Lee from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2024년 9월 10일

보고서 작성일

2025년 6월 23일

Prepared for

Henan Academy of Sciences

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Zhengzhou

End User

Henan Academy of Science

장비

제조사: ThermoFisher

장비: FIB-SEM

모델: Helios

장비 상태

The equipment is installed/Turned off

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일09-10-2024
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Henan Academy of Sciences
Zhengzhou
ThermoFisher
Helios
FIB-SEM
DVIA-M1000
240216R1

관련 케이스 스터디

Thermo Fisher Scientific FIB-SEM Helios DVIA-M1000 (241111R7) Installation Report
DVIA-M Series

Thermo Fisher Scientific FIB-SEM Helios DVIA-M1000 (241111R7) Installation Report

01-10-2025자세히
Gotion High-tech Hefei ThermoFisher Apreo 2S Hivac FIB-SEM DVIA-M1000 (240315R4) Installation Report
DVIA-M Series

Gotion High-tech Hefei ThermoFisher Apreo 2S Hivac FIB-SEM DVIA-M1000 (240315R4) Installation Report

06-25-2024자세히
YIMOTECH Thermo Fisher Scientific Helios 5CX FIB-SEM DVIA-M1000 Installation Report
DVIA-M Series

YIMOTECH Thermo Fisher Scientific Helios 5CX FIB-SEM DVIA-M1000 Installation Report

07-02-2026자세히