Tier-1 Semiconductor Hwaseong Bruker LA-02 DVIA-P4000 (039887B) Inspection Report — December 2023
Contents
개요
삼성전자 화성사업장에 설치된 DVIA-P 3대에 대한 점검 요청으로 인해 점검 진행했습니다.
Daeil UI Program Transmissibility 확인 결과 정상적인 Performance를 보입니다.
진동측정결과 장비 IDLE 상태진동에 의해 상판의 진동 측정값이 높게 측정됩니다.
정확한 점검을 위해서는 장비를 Off 한 상태에서의 점검 및 Tuning이 필요합니다.
보고서 작성일
23.12.18
출장 일자
17.12.27~17.12.29
시스템 정보
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버(SAC-07): 039887B
엔지니어
Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
점검 일자
2023년 12월 14일
설치 위치
Samsung NRD line 3F, Hwasung
장비
Bruker LA-02
진동 결과 요약
| 측정 지점 | Z축(수직) 1-10 Hz | Z축(수직) 12.5-80 Hz | X축(좌우) 1-10 Hz | X축(좌우) 12.5-80 Hz | Y축(전후) 1-10 Hz | Y축(전후) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | G | C | D | D | E | D |
| Active | E | B | E | C | E | D |
상부 장비 IDLE 상태로 진동측정 진행.
Z축 측정 결과 모든 주파수 대역에서 장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향을 받아 상판 진동 측정량이 더 큽니다.
X축 측정 결과 15Hz, 35Hz대역에서 장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향을 받아 상판 고주파 대역의 진동 측정량이 더 큽니다.
Y축 측정 결과 제진 성능이 X축에 비해 낮고 15Hz, 35Hz대역에서 장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향을 받아 상판 고주파 대역의 진동 측정량이 더 큽니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해 상부 장비 Turn off 상태로 진동 측정, Tuning이 필요합니다.
데이터 및 이미지
변위 센서 그래프
가속도계 그래프
가속도 센서와 변위 센서가 진동의 변화를 올바르게 센싱하고 정상 작동합니다.
Z축(수직) 전달률
바닥에 진동을 부여하여 Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과, 3Hz부터 -10dB 이상의 감쇠율을 보입니다.
25Hz대역에서 -10dB까지 상승하는 공진봉이 존재하지만 문제가 되는 성능은 아닙니다.
Z축(수직) VC 곡선
진동측정결과 50-60 Hz를 제외한 전 구간에서 하판의 진동에 비해 상판의 진동이 크지만 UI Program으로 판단했을 때 올바른 동작을 하고 있기 때문에, 이는 장비 IDLE 상태에 의한 진동으로 판단됩니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 장비 Turn off 상태로 진동 측정이 필요합니다.
X축(좌우) 전달률
Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과 3Hz부터 -10dB 이하의 감쇠율을 보입니다.
15, 27Hz대역에서 0dB까지 상승하는 공진봉이 존재하는데 장비 IDLE 상태에 대한 진동일 수 있지만 수평축으로 가진이 불가하여 해당 진동 여부를 판단할 수 없습니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 상부 장비 Turn off 상태에서의 제진대의 점검이 필요하며 추가 Tuning시 성능이 향상될 수 있습니다.
X축(좌우) VC 곡선
진동측정결과 1-8Hz대역에서 진동 감쇠능력이 뛰어나게 나타납니다.
하지만, 15, 25-35Hz 구간에서 하판의 진동에 비해 상판의 진동이 큽니다.
UI Program Transmissibility Graph에서도 공진봉이 존재하기 때문에, 이는 장비 IDLE 상태에 의한 진동으로 판단됩니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 장비 Turn off 상태로 진동 측정이 필요합니다.
Y축(전후) 전달률
Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과 3Hz부터 -10dB 이상의 감쇠율을 보입니다.
7-12Hz 대역에서 -10dB 이하의 성능을 보입니다. 성능 향상을 위해서는 Tuning이 필요합니다.
15, 32, 72Hz대역에서 0dB까지 상승하는 공진봉이 존재하는데 장비 IDLE 상태에 대한 진동일 수 있지만 수평축으로 가진이 불가하여 해당 진동 여부를 판단할 수 없습니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 장비 Turn off 상태에서의 제진대의 점검이 필요하며 추가 Tuning시 성능이 향상될 수 있습니다.
Y축(전후) VC 곡선
진동측정결과 3Hz대역을 제외한 1-8Hz대역에서 진동 감쇠가 일어나지만 X축에 비하여 낮은 수준입니다. Tuning을 통해 성능 향상할 수 있습니다.
3, 15, 25-35Hz 구간에서 하판의 진동에 비해 상판의 진동이 큽니다.
UI Program Transmissibility Graph에서도 공진봉이 존재하기 때문에, 이는 장비 IDLE 상태에 의한 진동으로 판단됩니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 장비 Turn off 상태로 진동 측정이 필요합니다.
참고자료
Generic Vibration Criteria
참고:
1. VC-A/B는 8-80Hz 1/3 옥타브 대역에서 측정하고, VC-C부터 VC-G는 1-80Hz까지 측정합니다.
2. Detail size는 반도체 제조 공정의 라인 폭 또는 의학 연구의 입자 크기 등을 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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