Tier-1 Semiconductor Hwaseong Bruker AFM NM-4 DVIA-P4000 (036174) Inspection Report — December 2023

Tier-1 Semiconductor 화성사업장에 설치된 VAAV-4000H 3대에 대한 점검 요청에 따라 점검을 진행하였습니다.

진동 측정 결과, 1–40 Hz 대역에서 상판 진동이 하판 진동보다 큽니다.

변위 센서 동작은 정상이나 출력값에 문제가 있으며, 점검 결과 육안 확인 시 에어 공급 중단 후에도 유닛 상·하판 간격이 열려 있어 상세 점검이 필요합니다.

23.12.18

17.12.27~17.12.29

모델: VAAV-4000H

시리얼 넘버(SAC-07): 036174

Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS

2023년 12월 14일

Tier-1 Semiconductor 화성 NRD Line 8F

Bruker AFM NM-4

장비 IDLE 상태에서 측정한 결과입니다.

진동 측정 결과, 모든 축에서 1–40 Hz 대역에서 상판 진동이 하판 진동보다 큽니다.

UI Program 확인 결과, 장비 진동과 구분하기 어렵습니다.

점검을 통한 원인 분석과 해결이 필요합니다.

수직축 변위 센서: 4.29 mm, 4.29 mm, 4.73 mm(높은 수치).

수평축 변위 센서: 0.1 mm~0.2 mm(정상이 아닌 값).

Tier-1 Semiconductor 측 공급 레귤레이터 정상 공급 확인.

대일 제진대 레귤레이터 정상 확인.

에어 공급 Off 상태에서도 유닛 상판과 하판이 열려 있음을 확인(점검 필요).

Float, POS, FF 기능을 모두 Off한 상태의 사진입니다.