Tier-1 Semiconductor Hwasung ZEISS AIMs 32 DVIA-P4000 (180306R4) Inspection Report
Contents
개요
삼성전자 화성사업장에 설치된 DVIA-P 3대에 대한 점검 요청으로 인해 점검 진행했습니다.
Daeil UI Program Transmissibility, 진동 측정 확인 결과 정상적인 Performance를 보입니다.
장비 On/Off 상태 비교 점검을 통해 장비 IDLE 상태 진동에 의한 영향을 알 수 있습니다.
제진대
Model: DVIA-P4000
Serial Number: 180306R4
Serial Number (SAC-07): 016147
엔지니어
Youngha Lee from DAEIL SYSTEMS
점검 일자
2023년 12월 14일
보고서 작성일
23.12.18
설치 장소
Samsung NRD line 8F, Hwasung
End User
Tier-1 Semiconductor
장비
ZEISS AIMs 32
진동 측정 결과 요약
AIMs IDLE Condition
| Measurement Point | Z-axis (Vertical) 1-10 Hz | Z-axis (Vertical) 12.5-80 Hz | X-axis (Left to Right) 1-10 Hz | X-axis (Left to Right) 12.5-80 Hz | Y-axis (Front to Back) 1-10 Hz | Y-axis (Front to Back) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | C | C | C | D | C | D |
| Active | D | B | D | C | C | B |
장비가 IDLE 상태일 때, 주로 10-15Hz, 20-40hz 대역에서 증폭이 일어납니다.
AIMs Power off
| Measurement Point | Z-axis (Vertical) 1-10 Hz | Z-axis (Vertical) 12.5-80 Hz | X-axis (Left to Right) 1-10 Hz | X-axis (Left to Right) 12.5-80 Hz | Y-axis (Front to Back) 1-10 Hz | Y-axis (Front to Back) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | C | C | C | D | D | C |
| Active | D | E | D | E | D | E |
장비가 Power off 상태일 때, 모든 대역에서 지반진동을 감쇠합니다.
데이터&이미지
Displacement Sensor Graph
Accelerometer Graph
가속도 센서와 변위 센서가 진동의 변화를 올바르게 센싱하고 정상 작동합니다.
Z-axis (Vertical) Transmissibility (AIMs Power on)
바닥에 진동을 부여하여 Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과, 3Hz에서 -10dB 이상의 감쇠율을 보입니다. 30, 40, 50Hz대역에서 0dB까지 상승하는 공진봉이 존재합니다.
장비 IDLE 상태 진동에 의한 출력으로 추측됩니다.
Z-axis (Vertical) Transmissibility (AIMs Power off)
바닥에 진동을 부여하여 Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과, 동일하게 3Hz에서 -10dB 이상의 감쇠율을 보입니다. 고주파 대역에서 모두 -10dB이하로 공진봉이 없습니다.
장비 Power on상태의 공진봉은 장비 IDLE 상태 진동에 의한 출력으로 판단됩니다.
Z-axis (Vertical) VC curves (AIMs Power on)
3Hz 대역에서 상판의 진동이 VC-C, D로 높게 측정됩니다. 또한, 10-15Hz, 20-80Hz대역에서 상판의 진동이 하판의 진동보다 크게 측정되었습니다.
해당 진동들은 장비 IDLE 상태 진동으로 추측됩니다.
Z-axis (Vertical) VC curves (AIMs Power off)
3Hz 대역에서 상판의 진동이 VC-D로 감소되었습니다. 또한, 장비 Power on 측정에 비해 10-15Hz, 20-80Hz대역에서 상판의 진동이 크게 감소되었습니다.
이로 인해 해당 진동들을 장비 IDLE 상태 진동으로 판단할 수 있습니다.
X-axis (Left to Right) Transmissibility (AIMs Power on)
Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과 3Hz부터 -10dB 이상의 감쇠율을 보입니다.
15, 27, 40Hz대역에서 0dB이상으로 상승하는 공진봉이 존재하는데 장비 IDLE 상태에 대한 진동일 수 있지만 수평축으로 가진이 불가하여 해당 진동 여부를 판단할 수 없습니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 상부 장비 Turn off 상태에서의 제진대의 점검이 필요하며 추가 Tuning시 성능이 향상될 수 있습니다.
X-axis (Left to Right) Transmissibility (AIMs Power off)
장비를 Turn off 하고 Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과, 동일하게 3Hz에서 -10dB 이상의 감쇠율을 보입니다. 고주파 대역에서 모두 -10dB이하로 공진봉이 없습니다.
장비 Power on상태의 공진봉은 장비 IDLE 상태 진동에 의한 출력으로 판단됩니다.
X-axis (Left to Right) VC curves (AIMs Power on)
저주파 대역에서는 상판의 진동이 하판의 진동보다 낮지만, 10-15Hz, 20-25Hz, 40-50Hz대역에서 상판의 진동이 하판의 진동보다 크게 측정되었습니다.
해당 진동들은 장비 IDLE 상태 진동으로 추측됩니다.
X-axis (Left to Right) VC curves (AIMs Power off)
장비 Power on 측정에 비해 10-15Hz, 20-25Hz, 40-50Hz 대역에서 상판의 진동이 크게 감소되었습니다.
이로 인해 해당 진동들을 장비 IDLE 상태 진동으로 판단할 수 있습니다.
또한, Y축에 비해서 다소 낮은 성능을 가지고 있어 추가적인 Tuning 작업을 통해 성능을 향상시킬 수 있습니다.
Y-axis (Front to Back) Transmissibility (AIMs Power on)
Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과 3Hz부터 -10dB 이상의 감쇠율을 보입니다.
15, 27, 43Hz대역에서 0dB이상으로 상승하는 공진봉이 존재하는데 장비 IDLE 상태에 대한 진동일 수 있지만 수평축으로 가진이 불가하여 해당 진동 여부를 판단할 수 없습니다.
정확한 제진대 성능 평가를 위해서는 상부 상부 장비 Turn off 상태에서의 제진대의 점검이 필요하며 추가 Tuning시 성능이 향상될 수 있습니다.
Y-axis (Front to Back) Transmissibility (AIMs Power off)
장비를 Turn off 하고 Daeil측 UI Program을 통한 Active Transmissibility Graph측정 결과, 동일하게 3Hz에서 -10dB 이상의 감쇠율을 보입니다. 고주파 대역에서 모두 -10dB이하로 공진봉이 없습니다.
장비 Power on상태의 공진봉은 장비 IDLE 상태 진동에 의한 출력으로 판단됩니다.
Y-axis (Front to Back) VC curves (AIMs Power on)
저주파 대역에서는 상판의 진동이 하판의 진동보다 낮지만, 10-15Hz, 20-40Hz대역에서 상판의 진동이 하판의 진동보다 크게 측정되었습니다.
해당 진동들은 장비 IDLE 상태 진동으로 추측됩니다.
Y-axis (Front to Back) VC curves (AIMs Power off)
장비 Power on 측정에 비해 10-15Hz, 20-25Hz, 40-50Hz 대역에서 상판의 진동이 크게 감소되었습니다.
이로 인해 해당 진동들을 장비 IDLE 상태 진동으로 판단할 수 있습니다.
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
이 케이스 스터디 공유하기
케이스 스터디 정보
관련 케이스 스터디
Tier-1 Semiconductor Hwaseong NRD Line ZEISS AIMS 1x DVIA-P4000 (220804R2) Inspection Report
Tier-1 Semiconductor Hwaseong NRD AIMS 1x DVIA-P4000 Installation Report
