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설치 보고서
DVIA-P Series
05-21-2026

GIS Guil Solution Factory GIS DHM Demonstration Equipment DVIA-P1000 Installation Report

DVIA-P Series
Installation Report
GIS
Guil Solution
DHM
DVIA-P1000
231108R2

개요

구일솔루션 공장동 연구소에 설치된 DVIA-P1000 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.

장비 안착 후 IDLE/Motor On/Stage On 세 가지 상태로 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.

IDLE 상태에서 측정한 데이터는 장비가 Turned off 상태일 때 튜닝을 완료한 후 기록한 것이며, Motor On 상태에서 측정한 데이터는 해당 상태에서 튜닝을 진행한 후 기록한 것입니다. 따라서 Motor On 상태에서 얻은 데이터가 장비의 실제 작동 환경에 더 적합하게 조정된 결과로, 더 신뢰할 수 있는 데이터입니다.

저주파 대역에서 증폭되는 진동은 상부 장비의 진동 영향으로 판단됩니다.

DVIA-P1000을 노트북과 연결하여 UI software을 통해 피드백과 피드포워드 튜닝 및 Data Physics 측정장비를 이용하여 진동측정으로 성능점검을 진행했습니다.

Data를 VC-Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-P1000

시리얼 넘버: 231108R2

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원, 서종화

측정 날짜

2025년 01월 20일

설치 장소

구일솔루션 공장동 연구소 현장

End User

GIS

고객사 장비

Manufacturer: GIS

Equipment: DHM 실증화 장비(Self-Made)

Model: -

장비상태

장비 설치 및 IDLE/Motor On

진동 스펙

-

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

결론

1.3 Hz 주기의 장비 진동이 저주파에서부터 측정되고 있습니다. 제진대 상부에서 발생하는 진동은 제어에 한계가 있지만, 이를 제외한 다른 주파수 대역에서는 정상적인 제진 성능을 유지하고 있습니다.

측정 데이터

IDLE

측정 장소상태방향하부패드DVIA-P1000
구일솔루션 연구소 /
1. 하부패드 /
2. DVIA-P4000
장비 설치/IDLEVerticalVC-G / @ 100 HzVC-G / @ 100 Hz
Left to RightVC-E / @ 63 HzVC-G / @ 63 Hz
Front to BackVC-E / @ 50 HzVC-G / @ 50 Hz

Motor On

측정 장소상태방향하부패드DVIA-P1000
구일솔루션 연구소 /
1. 하부패드 /
2. DVIA-P4000
장비 설치/Motor OnVerticalVC-G / @ 50 HzVC-G / @ 50 Hz
Left to RightVC-F / @ 50 HzVC-G / @ 50 Hz
Front to BackVC-F / @ 50 HzVC-G / @50 Hz

Stage On

측정 장소상태방향하부패드DVIA-P1000
구일솔루션 연구소 /
1. 하부패드 /
2. DVIA-P4000
장비 설치/Stage OnVerticalVC-G / @ 8 HzVC-A / @ 8 Hz
Left to RightVC-E / @ 8 HzOperating Theatre / @ 8 Hz
Front to BackVC-E / @ 6.3 HzOperating Theatre / @ 6.3 Hz

데이터&이미지

장비 IDLE

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

장비 Motor On

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

장비 Stage On

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일05-21-2026
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DVIA-P Series
Installation Report
GIS
Guil Solution
DHM
DVIA-P1000
231108R2