설치 보고서

DVIA-M Series

06-12-2024

CGN Yangjiang Wind Power ZEISS Geminisem360 DVIA-M1000 Installation Report (230804R7) — 2024.06.12

DVIA-M Series

Installation Report

CGN

Yangjiang

ZEISS

Geminisem360

SEM

DVIA-M1000

230804R7

Shagang (沙钢)

Target equipment: ZEISS Geminisem360

Place of installation: Yangjiang

Remark: Good Performance

END USER: 中广核阳江风力发电

(MB1000_ 230804R3 Set-up)

Operator: Byeonghun Cho, Chaewon Lee Date of setup: 24.06.12 Date of reporting: 24.06.12

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

개요

Overview The DVIA-M1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended. Measurement date: 2024.06.12 (Friday) Operator: Byeonghun Cho from DAEIL SYSTEMS Place of measurement: Yangjiang Equipment Model: ZEISS Geminisem360

M1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

수직

좌우

전후

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일06-12-2024

태그

DVIA-M Series

Installation Report

CGN

Yangjiang

ZEISS

Geminisem360

SEM

DVIA-M1000

230804R7

CGN Yangjiang Wind Power ZEISS Geminisem360 DVIA-M1000 Installation Report (230804R7) — 2024.06.12

목차

Shagang (沙钢)

(MB1000_ 230804R3 Set-up)

개요

M1000 내부 프로그램 성능 측정 결과

수직

좌우

전후

Reference

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